原理
等離子體分析飛行時間質(zhì)譜儀結(jié)合了輝光放電等離子體的濺射速度和時間飛行質(zhì)譜的快速以及高靈敏度,實現(xiàn)了高分辨率和高靈敏度條件下固體材料的快速化學深度剖析。
等離子體分析飛行時間質(zhì)譜儀重點應用領(lǐng)域
● 摻雜分析(半導體、光電子、太陽能光伏、傳感器、固態(tài)光源)
● 表面和整體污染鑒定(PVD 鍍層、摩擦層、電氣鍍層、光學鍍層、磁性鍍層)
● 腐蝕科學和技術(shù)(示蹤物、標記監(jiān)測、同位素標記)
● 界面監(jiān)測
技術(shù)參數(shù)
● 采集速率:每30μs一張全質(zhì)譜
● 質(zhì)量分辨率:選擇高分辨率模式時,在m/z 208可達 5000
● 動態(tài)范圍:107
● 質(zhì)量準確度:40 ppm
● 靈敏度:103 cps/ppm
● 深度分辨率:nm
● 正負離子模式
● 4個離子的靈活消隱功能
● 簡單易用的水平樣品裝載
產(chǎn)品特點
● 樣品分析快速無預處理:無需超高壓腔
● 適用于各種材料及鍍層分析
● 全質(zhì)量覆蓋:可提供從 H 到U元素的完整質(zhì)譜和分子信息,包括同位素監(jiān)測
● *3D 數(shù)據(jù),脈沖射頻模式()
● 高深度分辨率:測試薄層可至 1nm
● 薄層到厚層:層厚可達 100μm
● 無需校準的半定量分析:濺射和電離過程分離,使得基體效應zui小化
注:具體價格請咨詢當?shù)劁N售工程師。