接觸電阻率和薄層電阻 TLM-SCAN+ 多功能太陽電池柵線接觸電阻測試儀
接觸電阻率和薄層電阻 TLM-SCAN+
前金屬化的接觸電阻是對絲網(wǎng)印刷太陽能電池的總串聯(lián)電阻的重要貢獻。 具有合適測試結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)移長度方法是將接觸電阻與其他串聯(lián)電阻效應(yīng)分開的較佳方法。 然而，接觸電阻可以在太陽能電池上顯著變化，因此需要在成品太陽能電池上以空間分辨率測量它的方法。 TLM-SCAN產(chǎn)生太陽能電池的接觸電阻率的映射，該太陽能電池用激光或切割鋸切割成條紋。
右側(cè)的映射顯示了分辨率和可重復(fù)性，因為它顯示了14次測量的相同條帶。
接觸電阻率測量儀
這款緊湊型儀器測量成品太陽能電池的接觸電阻率，手指線電阻，手指寬度和手指高度，或者測試結(jié)構(gòu)。
通過在所有軸上電動化，可以通過按一個按鈕來創(chuàng)建所有這些方法的地圖。
用于測量薄擴散層的薄層電阻和晶圓電阻率的四點探頭，使得TLM-SCAN 成為一種低成本，快速，高質(zhì)量的四點探針貼圖儀。
使操作更簡單的功能：
自動位置校正以獲得較佳接觸質(zhì)量
蓋子關(guān)閉時自動啟動
自動采樣編號
軟件探頭識別
精確的導(dǎo)航與歡樂棒和顯微鏡相機
通過點擊圖像來探測定位和重新測量單點
多功能太陽電池柵線接觸電阻測試儀
晶體硅太陽能電池的表面金屬歐姆接觸的好壞通過接觸電阻來反映。在太陽能電池電極優(yōu)化中，接觸電阻是需要考量的一個重要方面。接觸電阻的大小不僅與接觸的圖形有關(guān)，還與擴散工藝及接觸形成工藝有關(guān)。不同柵線圖形的歐姆接觸好壞可以通過接觸電阻率的大小來反映。因此，通過對接觸電阻率的研究計算可以反映擴散、電極制作和燒結(jié)等工藝中存在的問題。但現(xiàn)在的測量方法存在測量時間長、效率低、精度差等缺陷，而又同時缺少一種專門測量太陽能電池接觸電阻的測試設(shè)備，因此不利于太陽能電池接觸電阻測量在產(chǎn)線上的應(yīng)用。本技術(shù)成果采用TLM法測量接觸電阻，結(jié)合電機平臺、攝像頭及計算機控制等技術(shù)已基本能實現(xiàn)自動測量和結(jié)果分析計算等功能。
市場預(yù)測：本技術(shù)成果可應(yīng)用于電池生產(chǎn)廠家、銀漿生產(chǎn)廠家等與電池柵線工藝有關(guān)的企業(yè)，以便快速測量柵線接觸電阻檢測改進工藝。目前還沒有成熟的本類產(chǎn)品，如能及早開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化推廣，本技術(shù)開發(fā)的產(chǎn)品將在市場上占得先機。目前，實驗室已制備出可以應(yīng)用的樣機，某些銀漿生產(chǎn)廠家已試用過并以測量結(jié)果作為參考改進產(chǎn)品。
一個樣品上多個TLM測試圖案的批處理模式
序列模式通過按一個按鈕來測量接觸電阻率和手指幾何圖形的映射
Contact resistivity and more
Contact resistivity and sheet resistance
The contact resistance of the front metallization is an important contribution to the total series resistance of screen-printed solar cells. The transfer length method with a suitable test structure is the best method to separate the contact resistance from other series resistance effects. However, the contact resistance may vary considerably over the solar cell so a method to measure it with spatial resolution on the finished solar cell is necessary. The TLM-SCAN creates mappings of the contact resistivity of a solar cell that is cut into stripes with a laser or a dicing saw.
The mapping on the right demonstrates the resolution and repeatabilty as it shows the same stripe measured 14 times
