用于常規(guī)SEM掃描電鏡顯微分析應(yīng)用的一體化EDS解決方案
蔡司 EVO 系列
模塊化的 SEM 平臺適用于直觀操作、例行檢測和研究應(yīng)用
- 顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實驗室的多功能解決方案
- 不同的真空室大小和可滿足所有應(yīng)用要求的載物臺選項-甚至是大型工業(yè)零部件樣品
- 使用LaB6燈絲，能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量
- 對不導(dǎo)電和無導(dǎo)電涂層的樣品的成像和分析性能出色
- 可以配置多種分析探測器用于滿足各種顯微分析應(yīng)用的需求
優(yōu)勢
便捷的可用性
SmartSEM Touch可以通過使用您的指尖與其進(jìn)行交互式工作流程控制。它簡單易學(xué)， 大大減少了培訓(xùn)所付出的努力和成本，甚至新用戶在幾分鐘內(nèi)也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶界面還支持需要自動化工作流程以執(zhí)行可重復(fù)檢查任務(wù)的工業(yè)操作員。
優(yōu)異的圖像質(zhì)量
EVO 擅長于對未經(jīng)處理和沒有導(dǎo)電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。EVO 還允許樣品保留其原始狀態(tài)， 維持含水和重污染樣品的數(shù)據(jù)質(zhì)量。此外當(dāng)成像和微量分析面臨挑戰(zhàn)時，選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。
EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)
EVO可以作為半自動、多模式工作流程的一部分，通過重新定位感興趣區(qū)域，并以多種方式收集數(shù)據(jù)，形成信息的完整性。將光學(xué)和電子顯微鏡圖像合并起來進(jìn)行材料表征或零件檢驗，或者將 EVO 與蔡司光學(xué)顯微鏡相關(guān)聯(lián)，進(jìn)行關(guān)聯(lián)顆粒度分析。
專家用戶
優(yōu)選用戶界面: SmartSEM
專家用戶可以獲取以及設(shè)定高級的成像參數(shù)和分析功能。
SmartSEM: 為有經(jīng)驗用戶使用的控制界面
新手用戶
優(yōu)選用戶界面: SmartSEM Touch
新手用戶可以使用預(yù)定義的工作流程和常用的一些參數(shù)-非常適合初學(xué)者。
SmartSEM Touch: 是一款在觸摸屏電腦上運行的簡化圖形用戶界面
EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)
工作流程自動化和關(guān)聯(lián)顯微鏡的好處
Shuttle & Find 將EVO、光學(xué)顯微鏡和數(shù)碼顯微鏡組成一個關(guān)聯(lián)的、多模態(tài)工作流程
由于蔡司是各種類型顯微鏡和計量系統(tǒng)的優(yōu)秀供應(yīng)商， 所以您還可以將EVO 與蔡司其它解決方案相結(jié)合，使其功能能夠發(fā)揮得更好。
通過使用Shuttle & Find（蔡司關(guān)聯(lián)顯微鏡的軟硬件部分），您可以在（數(shù)碼）光學(xué)顯微鏡和 EVO 之間建立一個高效的多模式聯(lián)用的工作流程。將光學(xué)顯微鏡的光學(xué)對比方法與同樣的掃描電鏡成像和分析方法相結(jié)合， 獲得互補(bǔ)的數(shù)據(jù)， 從而更清楚地去了解樣品的材料、質(zhì)量或失效機(jī)理。
蔡司 SmartEDX
用于常規(guī)SEM顯微分析應(yīng)用的一體化EDS解決方案
如果單采用SEM成像技術(shù)無法全面了解部件或樣品，研究人員就會借助能譜儀（EDS）來采集元素化學(xué)成份的空間分布信息。
- 針對常規(guī)顯微分析應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化
- 工作流程引導(dǎo)的圖形用戶界面
- 的蔡司服務(wù)和系統(tǒng)支持
SmartEDX由蔡司提供支持，因此該EDS解決方案非常適合那些希望精簡分析設(shè)備供應(yīng)商數(shù)量的客戶。所有安裝、預(yù)防性維護(hù)、保修、診斷和維修、備件物流以及整個系統(tǒng)服務(wù)合同中的內(nèi)容均由蔡司全面負(fù)責(zé)，為您的SEM分析解決方案提供一站式的的支持。
EVO 系列
真空室尺寸選擇
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| 蔡司EVO 10 | 蔡司EVO 15 | 蔡司EVO 25 |
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選擇 EVO 10（可選配BSD和EDS）是您想以一個非常實惠的價格購買掃描電子顯微鏡的切入點。即使這個EVO真空室很小，它也不同于臺式電鏡。您現(xiàn)在在 EVO 的投資保證了您已經(jīng)為將來需要更多空間和端口的應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。
| EVO 15 充分展示了 EVO 家族的靈活性概念， 并擅長于分析應(yīng)用。選擇 EVO 15 更大的真空室， 并增加對不導(dǎo)電樣品或零件的成像和分析的可變壓力模式， 你將有一個多功能多用途的顯微鏡設(shè)備或者工業(yè)質(zhì)量保證實驗室的解決方案。 | EVO25 是工業(yè)的主力解決方案， 它有足夠的空間以容納甚至更大的部件和組件?？蛇x的 80 mm Z 軸行程載物臺可進(jìn)一步擴(kuò)展 EVO 25的功能， 它可以處理重量高達(dá)2公斤的樣品甚至傾斜。此外， 大的真空室將能夠容納多個分析檢測器以滿足苛刻的微量分析應(yīng)用需求。 | |
| 樣品高度 | 100 mm | 145 mm | 210 mm |
| 樣品直徑 | 230 mm | 250 mm | 300 mm |
| 電動載物臺行程XYZ |
80 x 100 x 35 mm
| 125 x 125 x 50 mm | 130 x 130 x 50 (或 80) mm |
| 高真空模式 (HV) 導(dǎo)電樣品質(zhì)量的成像與分析 | | | |
| 可變壓力模式 (VP) 不導(dǎo)電且不噴涂導(dǎo)電層樣品的高質(zhì)量成像和分析 | | | |
| 擴(kuò)展壓力模式 (EP) 含水或被污染的樣品在其自然狀態(tài)下成像 | | | |
蔡司 EVO 應(yīng)用案例
應(yīng)用實例
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質(zhì)量分析/質(zhì)量控制
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失效分析/金相分析
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清潔度檢查
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顆粒的形態(tài)和化學(xué)分析， 以滿足 ISO 16232 和 VDA 19 中1和2的標(biāo)準(zhǔn)
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非金屬夾雜物的分析
鋅磷酸鹽電涂層， 高真空模式下使用 SE 探測器成像
汽車座椅墊泡沫， 可變真空模式下使用BSE探測器成像，樣品未噴涂導(dǎo)電層
不銹鋼斷口表面， 高真空模式二次電子成像
電子半導(dǎo)體
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目視檢查電子元件、集成電路、MEMS 器件和太陽能電池
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銅絲表面及晶體結(jié)構(gòu)的研究
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金屬腐蝕研究
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斷面失效分析
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Wire bonding線腳檢查
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電容表面成像
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Wire bond檢查，在高真空或可變真空模式下用二次電子成像
鎳層腐蝕的二次電子成像
二次電子圖像觀察的在電子產(chǎn)品上生長的晶須
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鋼鐵和其它金屬
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對金屬樣品和夾雜物的結(jié)構(gòu)、化學(xué)和結(jié)晶學(xué)進(jìn)行成像和分析
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相、顆粒、焊縫和失效分析
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鍍鋅低碳鋼的剖面， 使用 EVO 15 上的二次電子探測器進(jìn)行成像
用F80砂礫鋁粉噴砂后的S355鋼表面
采用選擇性激光熔化的方法制備的鈦合金 (Ti-6Al-4V)的表面， 能夠看出充分熔化區(qū)域的旁邊有未融化的 Ti-6Al-4V 粒子和其他材料
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材料科學(xué)研究
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用于研究導(dǎo)電和不導(dǎo)電材料樣品的特征
自愈合礦物的擴(kuò)展和裂紋架橋網(wǎng)絡(luò)， 形成了類似花狀的水鎂礦結(jié)構(gòu)，在12kV下使用二次電子探測器成像
電池組件中的石墨烯泡沫結(jié)構(gòu)， 在高真空下使用 二次電子探測器成像
航空航天復(fù)合材料，在10 kV可變壓力模式下使用 C2D 探測器成像
