光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預(yù)處理烘箱的作用:
電池片制備是光伏電池片生產(chǎn)中的核心環(huán)節(jié),主要包括光刻、擴散、沉積和金屬化等工藝步驟
1.光刻:光刻工藝主要利用光刻膠和掩膜將所需的電極圖案投影到硅片表面,并通過曝光和顯影等過程形成圖案。
2.擴散:擴散工藝通過高溫將摻雜物(如磷或硼)注入硅片中,形成PN結(jié)構(gòu),從而使其具有正負電荷分離的能力。
3.沉積:沉積工藝主要是在硅片表面進行氧化、硝化或硫化等處理,形成適當?shù)碾姵仄砻娼Y(jié)構(gòu)和保護層
4.金屬化:金屬化工藝將電極材料(如鋁或銀)通過蒸鍍、濺射或印刷等方法沉積在電池片表面作為電流收集和傳輸?shù)膶?dǎo)體。
光刻中第一步需要表面預(yù)處理,就是涂膠前要進行增粘處理。由于襯底表面吸水特性,使疏水的光刻膠無法與親水的晶圓表面結(jié)合良好。未經(jīng)過HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。
光伏電池片HMDS處理系統(tǒng),HMDS預(yù)處理烘箱技術(shù)參數(shù)
主要方法:氣相沉積
工藝步驟:HMDS烘箱在高溫條件下,達到真空狀態(tài)后開始涂布工藝,涂布完成后烘箱內(nèi)部充入N2,排出尾氣,達到常壓后方可開門。
溫度范圍:RT+10-200℃
真空度:≤1torr
控制儀表:人機界面,自動運行
儲液瓶:標配
真空泵:無油渦旋真空泵
數(shù)據(jù)處理:多個工藝方案,可修改并記錄,使用數(shù)據(jù)可記錄
保護裝置: 低液位報警,HMDS藥液泄漏報&警,超溫保護并斷開加熱,漏電保護,過流保護等