Agilent安捷倫CombiTSP 300集成了VacIon 300 L/s離子泵、TSP泵芯和TSP低溫?fù)醢澹稍隗w積不變的情況下提高抽速。TSP泵芯的吸氣特性可快速達(dá)到超高等真空狀態(tài) (UHV/XHV)，從而降低極限真空。低溫?fù)醢蹇蛇M(jìn)一步提高可吸收氣體的抽除效率。三極離子泵元件對甲烷、氬氣和氦氣具有*高的抽速和容量。
這款泵非常適合粒子物理學(xué)和其他低壓研究（如表面科學(xué)、納米技術(shù)、材料科學(xué)），可根據(jù)您的需求定制不同的高壓真空通導(dǎo)件、泵體幾何形狀和泵元件。
產(chǎn)品參數(shù)
加熱器電壓 | 100-120/200-240 V |
加熱器電源 | 580 W |
單元類型 | StarCell Noble Diode Diode |
工作壽命 | 80000小時 |
抽氣口法蘭 | 8 英寸 CFF (NW 150) |
啟動壓力 | ≤ 5 x 10-2 mbar |
烘烤溫度 | 350 °C |
極限真空 | < 1 x 10-11 mbar |
真空高壓接頭類型 | Fischer SHV |
產(chǎn)品特點
·該離子-TSP復(fù)合泵為 VacIon Plus 300，帶有一個附加側(cè)孔或底部安裝的 8 英寸 ConFlat 孔。
·可選擇三極離子泵、二極離子泵或惰性氣體二極離子泵抽氣單元，可達(dá)到*高惰性氣體 (UHV/XHV) 抽速。
·配備 ConFlat 8 英寸非旋轉(zhuǎn)型入口法蘭以及采用雙法蘭或帶側(cè)孔配置的額外 8 英寸 ConFlat 孔。
·低溫?fù)醢灏惭b在外徑 8 英寸的 ConFlat 法蘭上，還包括一個用于安裝 TSP 泵的 2.75 英寸 ConFlat 法蘭。
·包括 TSP 泵芯，但未安裝在泵內(nèi)。
·低溫?fù)醢蹇蔀?TSP 的升華鈦提供更大的表面積，避免真空系統(tǒng)發(fā)生不需要的鈦膜沉積。
·使用液氮冷卻時，低溫?fù)醢逄岣吡宋鼩膺^程的效率和抽除水的速度。也可在水冷下運行，或在超高真空等真空下無需冷卻地運行。
·配備已安裝的 120 Vac 或 230 Vac 加熱器，還有多種真空穿導(dǎo)件可供選擇（Fischer、King、DESY、Varian、SHV 10kV (Safeconn)）。
·電纜和控制器單獨提供。
產(chǎn)品尺寸
產(chǎn)品選型
9192611 | Ion CombiTSP VacIon Plus 300 L/s Diode離子泵 | 帶側(cè)部安裝的低溫?fù)醢搴?/span> TSP 泵芯，帶加熱器，220 V |
9192611M100 | Ion CombiTSP VacIon Plus 300 L/s Diode離子泵 | 帶側(cè)部安裝環(huán)境防護(hù)罩和 TSP 泵芯，帶加熱器，220 V |
9192613 | Ion CombiTSP VacIon Plus 300 L/s Diode離子泵 | 帶底部安裝的低溫?fù)醢搴?/span> TSP 泵芯，帶加熱器，220 V |
9192641 | Ion CombiTSP VacIon Plus 300 L/s Starcell離子泵 | 帶側(cè)部安裝的低溫?fù)醢搴?/span> TSP 泵芯，帶加熱器，220 V |
9192641M009 | Ion CombiTSP VacIon Plus 300 L/s Starcell離子泵 | 不帶制冷 TSP，帶加熱器，220 V |
9192643 | Ion CombiTSP VacIon Plus 300 L/s Starcell離子泵 | 帶底部安裝的低溫?fù)醢搴?/span> TSP 泵芯，帶加熱器，220 V |
