光氧催化+低溫等離子設備分解：光氧催化模塊運用253.7納米波段光切割、斷鏈、燃燒、裂解廢氣分子鏈，改變分子結構，為重處理；取185納米波段光對廢氣分子進行催化氧化，使破壞后的分子中子或原子以O3進行結合，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在催化氧化過程中，轉(zhuǎn)變成低分子化合物CO2、H2O等，為第二重處理；

再根據(jù)不同的廢氣成分配置27種以上相對應的惰性催化劑，催化劑采用蜂窩狀金屬網(wǎng)孔作為載體，與光源接觸，惰性催化劑在338納米光源以下發(fā)生催化反應，放大10-30倍光源效果，使其與廢氣進行充分反應，縮短廢氣與光源接觸時間，從而提高廢氣凈化效率，催化劑還具有類似于植物光合作用，對廢氣進行凈化效果，為第三重處理，通過三重處理后的廢氣其除臭可達99%以上，凈化、脫臭效果大大超過GB16297-1996《大氣污染物綜合排放標準》二級排放標準，GB14554-93《惡臭污染物排放標準》二級排放標準。

接著廢氣進入等離子模塊，通過放電，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉(zhuǎn)化為污染物分子的內(nèi)能或動能，這些獲得能量的分子被激發(fā)或發(fā)生電離形成活性基團，當污染物分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，污染物分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構成得無害氣體分子。等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，同時產(chǎn)生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性的O3，能與有害氣體分子發(fā)生化學反應，最后生成無害產(chǎn)物。物理作用表現(xiàn)在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發(fā)生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。生物作用表現(xiàn)在具有消毒殺菌之功效。機理為：等離子體中的正負粒子使微生物表面產(chǎn)生的電能剪切力大于其細胞膜表面張力，致使細胞膜遭到破壞而導致微生物死亡。

首先廢氣通過光氧催化模塊裂解70%-80%廢氣分子，生成水和二氧化碳，低溫等離子模塊放電轟擊剩余的廢氣分子，最終達到分解廢氣分子。