在氣體面板、氣體柜和晶圓加工需要超純氣體的任何地方進行的微粒過濾。
- 緊湊的裝置減少了氣箱的整體占地面積,節(jié)省了寶貴的設備空間
- PTFE膜提供高效過濾,提高產品產量
- 低壓降降低了低蒸氣壓氣體冷凝的風險
- 與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的相容性
- 用于惰性和活性氣體,包括臭氧
- 臭氧應用(氣體)
- 煤氣柜
- 超純氣體系統(tǒng)
- 閥組箱
- 煤氣板
材料 | 濾芯 | 由模制 PFA 結構支撐的疏水性 PTFE 膜 |
住房 | 電拋光 316L 不銹鋼 | |
下游清潔度 | 粒子 | <0.03>0.03><1>1>3) >0.01µm |
揮發(fā)物 | <10 ppb="">10> | |
移除等級 | 0.0015 微米 | |
表面處理內飾 | ≤10 微英寸 Ra | |
氦泄漏等級 | 合格的 | 2 × 10 -10 atm/cc-sec |
已測試 | 1 × 10 -9 atm/cc-sec | |
濃度分辨率 | ±0.015 ppm | |
運行條件 | 入口壓力: | 20.7 兆帕(207 巴;3000 磅/平方英寸)@ 23°C (73°F) |
正向壓差: | 0.4 MPa(4 巴;60 psid)@ 23°C(73°F) | |
壓差: | 0.07 兆帕(0.7 巴;10 磅/平方英寸)@ 23°C (73°F) | |
工作溫度: | 120°C (248°F) | |
顆粒保留 | 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒 @ 100 slpm(以穿透性的顆粒尺寸為參考) | |
流量等級 | 參考性能數(shù)據(jù) |