益處
- 擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
- 易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個設(shè)定點
- 輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令，可調(diào)零點偏移
- 診斷端口便于快速服務(wù)與維護
- 兩年保修服務(wù)，的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
- 的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是最嚴(yán)苛的等離子應(yīng)用，都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
- 合規(guī)性和標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應(yīng)用
- 蝕刻、CVD、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過程
- 化學(xué)和腐蝕性真空過程
- 一般薄膜和真空過程
- 作為基準(zhǔn)儀器監(jiān)控測試儀器是否符合國際標(biāo)準(zhǔn)
- 符合傳遞標(biāo)準(zhǔn)，確保測量可追溯性
規(guī)格
| 類型 | 1000 Torr, 1100 mbar | 500 ... 1 Torr / mbar | 0.5 ... 0.05Torr / mbar | |
|---|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.15 | 0.15 | 0.15 |
| 溫度效應(yīng) | ||||
| 零點 | percent FS/°C | 0.0025 | 0.0025 | 0.005 |
| 滿量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 壓力， | kPa (absolute) | 400 | 260 | 130 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
| 讀數(shù) | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 建議的讀數(shù) | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 建議的控制壓力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 溫度 | ||||
| 運行（環(huán)境） | °C | +10 … +40 | +10 … +40 | +10 … +40 |
| 在法蘭處烘烤 | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
| 貯存 | °C | –20 … +65 | –20 … +65 | –20 … +65 |
| 電源電壓 | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) | |
| 功耗 | ||||
| 加熱時 | W | ≤12 | ≤12 | ≤12 |
| 運行溫度 | W | ≤8 | ≤8 | ≤8 |
| 輸出信號（模擬） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
| 反應(yīng)時間 (2) | ms | 30 | 30 | 130 / 30 (3) |
| 保護等級 | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
| 標(biāo)準(zhǔn) | ||||
| CE 合規(guī) | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS | |
| ETL 認(rèn)證 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | |
| SEMI 合規(guī) | ||||
CDG045D高精度真空計
