產(chǎn)品簡介： GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀， 可進行金、鉑、銦、銀 等多種金屬的濺射鍍膜， 樣品直徑可達 50mm ，鍍膜厚度可達 300?， 特別適用于 SEM 樣品表面的鍍膜。 GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài)； 特殊設(shè)計的鐘罩邊緣橡膠密封圈， 可保證長期使用不會出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn) 象； 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用。 GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀體積小， 操作簡單，適合用于實驗室中對小樣品的鍍膜使用。
產(chǎn)品名稱 | GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀 |
產(chǎn)品型號 | GSL-1100X-SPC-16 |
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水：不需要 2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度 99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，,承重 50kg 以上 5、通風(fēng)裝置：不需要 |
主要特點 | 1、設(shè)有真空表、濺射電流表，可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。 2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電 離氣體，以獲得的鍍膜效果。 |
3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。 4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。 5、根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻 |
純凈。 6 、已通過 CE 認證。 | |||
技術(shù)參數(shù) | 1、電源： 220V 2、總功率： <2000W （包括真空泵） 3、真空室： ?160mm×120mm 4 、樣品臺： ?50mm，且高度可調(diào)， 可同時進行 8 個 SEM 樣品的鍍膜 5 、max 均勻鍍膜： ?45mm | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 400mm×300mm×400mm；重量： 30kg | ||
標準配件 | 1 | 金靶材 | 1 個 |
2 | 進氣針閥 | 1 個 | |
3 | 保險絲 | 2 個 | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | ||
