氦離子顯微鏡ORION的基礎是革命性的、原子尺寸的、ALIS氣體場離子源。由單個原子發(fā)出的，極其明亮的氦離子束客服了衍射和能量擴展的限制，正佳萇浜湍芰康睦┱褂跋熗說繾郵諫璧緹抵械撓τ謾Ⅻbr /> 這就意味這ORION顯微鏡擁有一個非常小的束斑用于高分辨率成像。此外，在一個大大縮小了相互作用區(qū)里，氦離子束和樣品的動力學結(jié)果貢獻了更高的分辨率和內(nèi)涵豐富的襯度機制。
ORION顯微鏡也可以使用背散射?離子成像，具有很強元素襯度的這種技術，提供了在樣品表面區(qū)分不同材料的能力。
ORION顯微鏡靈活性高、功能多樣，能夠提供廣泛的分析信息，其中包括：形貌、材料、電壓襯度、晶體學、表面和次表面信息，這種技術的另一個好處是在絕緣樣品上的高性能。
一、氦離子顯微鏡ORION技術參數(shù)
1、分辨率：0.75nm 45kv工作距離4mm；1.0nm 30kv工作距離4mm；2.5nm 10kv工作距離4mm
2、放大倍數(shù)：100x-1，000，000x
3、視野：1mm-100nm
4、離子束：1PA時〈1nm；離子束>流1 fA-25pA
5、離子源：氦氣體場離子源；壽命〉1000小時；離子源電動對中
6、樣品室：體積400mm3；基體真空度2*10-7Torr；接口板可定制；載物鎖
7、圖像探測器：Evehart-Thornley二次電子探測器；微通道板（選配）；透射電子探測器（選配）
8、樣品臺：5軸電動樣品臺，X 、Y軸行程50mm，Z軸行程12mm，360℃旋轉(zhuǎn)，0℃到45℃傾斜
9、真空系統(tǒng)：無油無微粒低真空泵設計，磁懸浮渦輪分子泵
10、攝像機：三臺監(jiān)控攝像機一離子源觀察
11、樣品臺觀察、樣品室觀察
12、用戶界面：兩臺20 寸平板顯示器；圖像2048*2048像素；系統(tǒng)主要參數(shù)存檔功能
二、氦離子顯微鏡ORION主要特點
1.的材料襯度
2.高分辨率
3.廣泛的分析信息
4.簡單的樣品制備
5.離子源工作穩(wěn)定、長壽命
可見光學和電子光學的。其電子光學前身為LEO，更早叫Cambridge和ZEISS?？?middot;蔡司ORION氦離子顯微鏡它所獲得的圖像具有高分辨率和材料襯度，并具有優(yōu)于五叩木吧?、?p>
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