產(chǎn)品介紹
Model 6810高分辨率電容式傳感器為位置和位移測量提供了高性能。6810專為高速旋轉(zhuǎn)或振蕩目標(biāo)的“高動態(tài)”測量而設(shè)計，如硬盤驅(qū)動器主軸電機(jī)、空氣軸承主軸和機(jī)械軸承機(jī)床主軸。應(yīng)用包括跳動測量，如軸向和徑向NRRO（不可重復(fù)的跳動或非同步誤差運動），其需要1至2 nm rms或更好的分辨率。
性能特點
- 的低噪聲設(shè)計提供亞納米級的測量分辨率
- 電容式位移測量
- 傳感-目標(biāo)材料或反射率對測量精度沒有影響
- 高測量帶寬，從1 kHz到100 kHz，適用于“高動態(tài)”應(yīng)用
- 非接觸式設(shè)計
- 高分辨率，低至亞納米級（在50微米的測量范圍內(nèi)，5kHz時為0.25納米rms）
- 用戶可選擇的測量帶寬（1 kHz、5 kHz、20 kHz、100 kHz）
- 測量范圍從20微米到幾毫米
- 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)±10伏模擬輸出
- 經(jīng)過認(rèn)證的、NIST可追溯的校準(zhǔn)精度（每個裝置都提供校準(zhǔn)證書）
- 非常緊湊，包括MicroSense隔離低噪聲電源
- 提供3U歐洲卡格式
- 與MicroSense的6000系列傳感器兼容，有多種尺寸可供選擇
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)地：美國
標(biāo)準(zhǔn)測量范圍：±25µm、±50µm、±100µm、250µm、500µm、750µm
（校準(zhǔn)范圍取決于傳感器尺寸）
模擬輸出：±10伏滿量程、單端和差分（選項±5伏、0–10伏）
傳感器輸入：MicroSense 6000系列探頭和傳感器
測量帶寬（@-3dB）：1 kHz、5 kHz、20 kHz、100 kHz（跳線可選）
滿量程范圍內(nèi)的線性度：0.25%
穩(wěn)定性：200 ppm/?C
目標(biāo)材料：任何導(dǎo)電材料（也可提供玻璃或陶瓷等非導(dǎo)電材料的傳感器）
超范圍檢測：TTL輸出和前面板LED指示
前面板調(diào)整：比例系數(shù)、零偏移、限制設(shè)置
工作環(huán)境（溫度）：0至50?-C
工作濕度：<85%RH，非冷凝
電源要求：90至240 VAC，50/60 Hz
尺寸：175毫米（長）x 110毫米（寬）x 40毫米（高）
重量：0.5kg，電源0.8kg
產(chǎn)品參數(shù)
