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環(huán)保APP正式上線

光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱

參考價(jià) 129800 112690
訂貨量 1-2 ≥3
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
  • 品       牌雋思
  • 型       號(hào)JS-HMDS90
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2024/5/21 9:02:58
  • 訪問次數(shù)613
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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司(以下簡(jiǎn)稱“雋思儀器”)是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測(cè)設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè),具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè),建筑,節(jié)能等行業(yè);多年來(lái),公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨,為國(guó)內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國(guó)內(nèi)外客戶的*好評(píng),更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精,更完善!
 雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烘箱,潔凈烤箱,百級(jí)潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦洌邷責(zé)o氧烘箱,真空無(wú)氧烘箱,無(wú)塵無(wú)氧化烘箱,抗粘劑涂膠機(jī),精密恒溫加熱臺(tái),快速高低溫氣流儀,超低溫試驗(yàn)箱,高低溫試驗(yàn)箱,高低溫交變濕熱箱定做,HMDS真空涂膠烘箱,低溫脆性檢測(cè)儀,黑蒜發(fā)酵設(shè)備,導(dǎo)體直流電阻測(cè)試儀,電線電纜檢測(cè)儀器,真空烘箱,黑蒜試驗(yàn)機(jī),橡塑檢測(cè)試驗(yàn)機(jī)等。
    不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專業(yè)服務(wù)能力,做一個(gè)專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理,在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財(cái)務(wù)管理等諸多方面取得了長(zhǎng)足發(fā)展。同時(shí)建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程,形成了覆蓋全國(guó)的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò),以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會(huì),以飽滿的熱情、真誠(chéng)的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來(lái)!





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材質(zhì) 316L不銹鋼 功率 2500
加工定制 類型 真空
適用范圍 MEMS,氮化鎵,砷化鎵,半導(dǎo)體 溫度范圍 110-160℃
光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱應(yīng)用多晶硅,石英,太陽(yáng)能電池片、金屬、貴金屬、藍(lán)寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。
光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱 產(chǎn)品信息

  光刻膠HMDS烘箱  HMDS疏水處理烘箱研發(fā)背景

       集成電路光刻工藝中常使用HMDS對(duì)晶圓襯底進(jìn)行黏附處理,來(lái)提高光刻膠與襯底的黏附性,HMDS中文名六甲基二硅氮烷(Si(CH3)3)2NH,行業(yè)所要求純度大于99.7%。



HMDS黏附機(jī)  HMDS烘箱  HMDS疏水處理烘箱作用



      襯底在空氣中易形成厚度為幾個(gè)原子層的二氧化硅薄膜,由于其具有親水性,會(huì)吸附空氣中的水分到襯底表面。光刻膠涂層多為有機(jī)疏水材料,這就造成了光刻膠與襯底黏附性差。在實(shí)際生產(chǎn)中,常將HMDS霧化,并在特定的溫度和壓力條件下處理,來(lái)改變晶圓表面的親水性。其原理可以簡(jiǎn)述為HMDS中的有機(jī)基團(tuán)取代晶圓表面水分子羥基,使晶圓表面由親水性變?yōu)槭杷浴?/span>



  光刻膠HMDS烘箱  HMDS疏水處理烘箱實(shí)用性

       在光刻中,光刻膠的黏附效果受到光刻涂層,襯底材料,以及光刻工藝三方面的影響。HMDS的黏附處理不只是對(duì)硅基襯底有效。也用于其他襯底,諸如多晶硅,石英,太陽(yáng)能電池片、金屬、貴金屬、藍(lán)寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。

HMDS烘箱兼容2~12寸晶圓及碎片、方片等。

設(shè)備名稱:HMDS烘箱

設(shè)備型號(hào): JS-HMDS90

內(nèi)腔尺寸:450×450×450、350×350×350(mm)可定制

材質(zhì):外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑、304不銹鋼,內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼

工藝溫度:110-160℃

真空度:≤1torr

工藝運(yùn)行:自動(dòng)運(yùn)行


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