全自動(dòng)晶圓磨邊機(jī)為晶圓倒角、晶圓磨邊、鍵合片晶圓層階倒角的專用設(shè)備,利用精密砂輪對(duì)晶圓進(jìn)行研磨整形加工。適用于2″- 6″晶圓、4″- 8″晶圓、8″-12″晶圓
-
適用于晶圓倒角、晶圓磨邊及層階倒角加工
-
機(jī)械臂自動(dòng)上下料,全自動(dòng)生產(chǎn)
-
可加工參考邊型晶圓及Notch型晶圓
-
自動(dòng)進(jìn)行粗研及精研加工
-
可自動(dòng)檢測(cè)晶圓直徑
-
配備晶圓清洗功能
-
配備晶圓干燥功能
可選配SECS/GEM與MES系統(tǒng)聯(lián)接