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廣電計量檢測集團股份有限公司

等離子體去膠機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/6/11 9:33:38
  • 訪問次數(shù)132
產(chǎn)品標簽:

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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司成立于1999年11月,總部設(shè)于上海, 在深圳,香港,東京,河內(nèi)設(shè)立有分公司。公司一直致力于引進技術(shù)、制造設(shè)備、精密檢測儀器、關(guān)鍵生產(chǎn)材料,為中國電子制造企業(yè)服務(wù)。經(jīng)過二十多年的發(fā)展,公司通過收購合并已發(fā)展為具有自主工業(yè)軟件設(shè)計開發(fā),高精密裝置的設(shè)計及制造裝配能力的跨國企業(yè)集團。服務(wù)于新能源汽車制造、半導(dǎo)體生產(chǎn)、5G通訊制造,航空航天,智慧醫(yī)療,自動化工業(yè)控制等細分行業(yè)。如今我們正不斷努力,希望通過*高效的生產(chǎn)技術(shù)與設(shè)備,幫助您提高生產(chǎn)效率,降低能耗,保護環(huán)境。與您攜手營造綠色地球,共創(chuàng)美好未來。
PLASMA等離子體去膠機概要:該設(shè)備是適用于硅基半導(dǎo)體及化合物半導(dǎo)體前后道的等離子體去膠設(shè)備,可用于光刻膠灰化/殘膠去除和表面處理,該系列有兩種配置分別兼容4“/6”/8“或8“/12“晶圓
等離子體去膠機 產(chǎn)品信息

PLASMA等離子體去膠機概要:


該設(shè)備是適用于硅基半導(dǎo)體及化合物半導(dǎo)體前后道的等離子體去膠設(shè)備,可用于光刻膠灰化/殘膠去除和表面處理,該系列有兩種配置分別兼容4“/6”/8“或8“/12“晶圓。設(shè)計緊湊占地面積小,設(shè)備穩(wěn)定可靠、易于維護、產(chǎn)能高。




PLASMA等離子體去膠機特點: 


兼容晶圓尺寸為:4 ” /6 ” /8”或8 ” /12 ”

支持2 個開放式晶圓匣或SMIF

高精度3 軸機械手

2種可選等離子體源:

RPS (400KHz Toroidal遠程等離子體源 )

電感耦合等離子體源 (13.56MHz)

高密度等離子體,去膠速率快

優(yōu)異的均勻性和重復(fù)性

占地面積小

耗材成本(COC)和使用成本(COO)低

人性化的人機交互操作系統(tǒng)

工業(yè)計算機Windows




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