3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂特點(diǎn)： |
超潔凈無塵間用300mm晶圓對(duì)應(yīng)MCR3000C系列 |
適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部，檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn) |
全軸采用AC伺服電機(jī)滿足高速搬送的需求 |
比MHR系列具有更好的性價(jià)比優(yōu)勢(shì) |
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng):160mm, 200mm |
適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式 |
配備動(dòng)作監(jiān)視器 |
控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式 |
全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī) |
S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓 |
晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式 |
手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) |
可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供的手指 |
3軸圓柱坐標(biāo)潔凈晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂基本參數(shù)： |
使用環(huán)境 | 潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境 |
手臂 | 單臂 |
到達(dá)距離 | 400mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離) |
升降軸行程 | 300mm / 400mm / 500mm |
可搬運(yùn)質(zhì)量 | 4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)) |
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