我國電子工業(yè)近兩年來,對超高真空專用設備的需要越來越迫切,已在進行超高真空設備的研制,如超高真空鍍膜和排氣,以及科研方面所需的超高真空系統(tǒng)等等。在這些排氣系統(tǒng)中都需要一套可以烘烤除氣的真空截止閥。

真空閥門在真空系統(tǒng)中，用來改變氣流方向，調節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件。適用于公稱壓力PN4.0～10.0Mpa，工作溫度≤200℃的火力電站回水冷凝系統(tǒng)管道上，切斷或接通中的介質。適用介質為：水、蒸汽等。閥蓋填料室設有真空密封結構，具有自脹壓緊作用，并且密封采用高強膨脹材料密封，使系統(tǒng)與大氣隔離，具有很好的系統(tǒng)氣密性。

閥門是管路流體輸送系統(tǒng)中控制部件，它是用來改變通路斷面和介質流動方向，具有導流、截止、調節(jié)、節(jié)流、止回、分流或溢流卸壓等功能。 用于流體控制的閥門，從的截止閥到極為復雜的自控系統(tǒng)中所用的各種閥門，其品種和規(guī)格繁多，閥門的公稱通徑從極微小的儀表閥大至通徑達10m的工業(yè)管路用真空閥。閥門可用于控制水、蒸汽、油品、氣體、泥漿、各種腐蝕性介質、液態(tài)金屬和放射性流體等各種類型流體的流動 ，閥門的工作壓力可從0.0013MPa到1000MPa 的超高壓，工作溫度從-269℃的超低溫到1430℃的高溫。閥門的控制可采用多種傳動方式，如手動、電動、液動、氣動、蝸輪、電磁動、電磁--液動、電--液動、氣--液動、正齒輪、傘齒輪驅動等；可以在壓力、溫度或其它形式傳感信號的作用下，按預定的要求動作，或者不依賴傳感信號而進行簡單的開啟或關閉，閥門依靠驅動或自動機構使啟閉件作升降、滑移、旋擺或回轉運動，從而改變其流道面積的大小以實現(xiàn)其控制功能。

試制超高真空離子泵(包括冷陰極和熱陰極)和去年試制超高真空離子泵排氣臺時,我們對φ45和φ50直角式超高真空間作了初步研制。實踐證明這種高真空角閥,用鋁墊密封,能在200℃下烘烤除氣,能保證超高真空(10-10乇范圍內)與大氣隔絕。下面簡介這種高真空角閥的研制情況。 高真空角閥的基本要求: ①放氣量小,氣密性好,漏氣率小于1×10-10乇·升/秒; ②重復性好,每次開關都能達到要求,不發(fā)生漏氣現(xiàn)象; ③通導盡可能大; ④傳動裝置簡單方便可靠,利于手動; ⑤體積小,重量輕。 一、基本結構與閥門材料 th45、th50口徑的閥門由三個主要部分所組成,如圖一所示。 ①閥體:材料是45·鋼或ICr13。在鍛造成型后,進行熱處理,正火或調質,消除內應力,以免加工后變形。