● 桌上型膜厚量測設(shè)備
● 安裝移動迅速便捷
● 適用于所有非金屬膜質(zhì)
● 多樣化的應(yīng)用選擇
● 工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)端口
全光譜橢偏儀——
規(guī)格 | 技術(shù)指標(biāo) |
襯底類型 | 透明或半透明襯底 |
光源 | 氙燈 |
光源壽命 | >8760H |
光譜范圍 | 300-1000nm |
入射角 | 70度(40度-90度 每5度可調(diào)) |
光斑直徑 | 100x120μm(Min80x100um) |
測量時間(不對焦) | <2S(單層模型),<約6s(多層模型) |
膜厚測量范圍(單層膜) | 1nm-15μm |
對焦 | 自動訊號對焦 |
膜厚測量精度 | <0.5nm(基于標(biāo)片) |
折射率測量精度 | <0.005(基于標(biāo)片) |
厚度重復(fù)性精度: | <0.5A(1 sigma 標(biāo)準(zhǔn)差,10times)(基于標(biāo)準(zhǔn)片) |
折射率重復(fù)性精度: | <0.0005(1 sigma標(biāo)準(zhǔn)差,10times)(基于標(biāo)準(zhǔn)片) |
可測試膜層數(shù)量 | ≥2層 |
標(biāo)片數(shù)量 | 2片 |