掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱應用原理
掩膜版(Photomask),又稱光罩、光掩膜、光刻掩膜版等,是微電子、集成光電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版, 由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形,并通過曝光將圖形轉(zhuǎn)印到晶圓上。
掩模版在設(shè)計時有著明場和暗場之分,在其與之光刻膠(正、負膠)曝光時可以根據(jù)工藝時的需要來選擇設(shè)計。上文已經(jīng)提到正光刻膠曝光區(qū)域被溶解,負膠則相反。
掩膜版主要由基板和遮光膜兩個部分組成?;宸譃闃渲搴筒AЩ?,玻璃基板主要包括石英基板和蘇打基板,根據(jù)遮光膜種類的不同,可以分為硬質(zhì)遮光膜和乳膠。
掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱功能
材質(zhì):內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼
工藝溫度:100-150℃
溫度分辨率:0.1℃
溫度波動度:≤±0.5
真空度:≤133pa(1torr)
操作界面:人機界面,一鍵作業(yè)
層數(shù):1-2層
HMDS控制:可控制HMDS藥液的添加量
圖像處理:圖像反轉(zhuǎn)
真空泵: 進口無油泵
保護裝置:緊急停止,HMDS藥液泄漏報&警提示,HMDS低液位報&警,超溫保護,漏電保護,過熱保護等
掩膜版HMDS真空烘箱 光罩hmds烘箱 hmds預處理烤箱使基底表面由親水性變?yōu)槭杷?,增強表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。適用于硅片、麟化銦、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。