深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司成立于2021年，是經(jīng)深交所主板上市公司長盈精密投資控股的子公司，是一家專注于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)與新能源產(chǎn)業(yè)的智能裝備制造企業(yè)，公司主要專業(yè)從事全自動(dòng)高精密晶圓減薄機(jī)、高精密晶圓拋光機(jī)、全自動(dòng)高精密晶圓倒角機(jī)、晶圓研磨機(jī)、晶圓上蠟機(jī)等硬脆材料的加工裝備、以及高精度氣浮主軸部件系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。
產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)。包括但不限于太陽能電池片、LED芯片、硅片、藍(lán)寶石片、砷化鎵、氮化鎵、鉭酸鋰、鈮酸鋰等硬脆材料的加工，同時(shí)，公司也提供技術(shù)支持和售后服務(wù)，以滿足客戶的各種需求。
作為一家智能裝備制造企業(yè)，深圳夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備注重技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品質(zhì)量。公司擁有一支專業(yè)的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，可以根據(jù)市場(chǎng)需求和客戶需求進(jìn)行定制化開發(fā)。同時(shí)，公司也擁有生產(chǎn)設(shè)備和完善的品質(zhì)管理體系，確保每一臺(tái)設(shè)備都符合客戶的期望和要求。在未來的發(fā)展中，深圳市夢(mèng)啟半導(dǎo)體裝備有限公司將繼續(xù)致力于技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品質(zhì)量提升，為客戶提供更優(yōu)質(zhì)、更可靠的智能裝備解決方案。
| 晶圓尺寸 | ?8'' (?4''/?6''/?8'')in | 研磨方式 | 晶圓旋轉(zhuǎn)進(jìn)給磨削 |
|---|---|---|---|
| 砂輪直徑 | ?250金剛石砂輪mm | 主軸額定功率 | 7.5/12.9KW |
| 主軸額定轉(zhuǎn)速 | 4000RPM | 磨削精度片間厚度變化 | ≤±2um |
| 磨削精度TTV | ≤2um | 磨削精度表面粗糙度Ra | 0.15（#2000）um |
◎ 減薄單元采用軸向進(jìn)給(ln-Feed)磨削原理，兼容Φ100~300mm晶圓磨削減薄加工。
◎ 設(shè)備配有MARPOSS在線測(cè)量?jī)x單元，加工時(shí)實(shí)時(shí)測(cè)量產(chǎn)品厚度，精確控制減薄厚度。也可選配非接觸測(cè)量NCG單元。
◎ 設(shè)備核心是具有自主產(chǎn)權(quán)的2個(gè)靜壓氣浮磨削主軸、3個(gè)高精度晶圓主軸及1個(gè)高剛度大直徑氣浮回轉(zhuǎn)工作臺(tái)構(gòu)造的全自動(dòng)磨削減薄機(jī)。
◎ 全自動(dòng)上下料。可進(jìn)行4寸(40um)~ 12寸(80um)超薄晶圓加工。
◎ 分別在前面、左面、右面各配置了1臺(tái)觸摸式液晶顯示器，方便在不同區(qū)域作業(yè)需求，提高了操作便利性?？刂飘嬅婵赏斤@示加工狀況和設(shè)備狀態(tài)，操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕，就可以簡(jiǎn)單地完成操作。
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