HMDS預(yù)處理機H-2 智能HMDS真空烘箱
HMDS(六甲基二硅氮烷)為半導(dǎo)體應(yīng)用的光刻膠粘合促進劑。
HMDS烘箱將六甲基二硅胺烷HMDS氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、磷化銦lnP、砷化鎵GaAs、鈮酸鋰LiNbO?、硫化鋅ZnS、掩膜版玻璃、石英片、藍寶石、晶圓、碳化硅等第三代、第四代半導(dǎo)體材料表面后經(jīng)系統(tǒng)加溫,它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。
HMDS預(yù)處理機H-2 智能HMDS真空烘箱技術(shù)性能
處理產(chǎn)品:2-12寸晶圓及方片均可兼容(可定制)
材質(zhì):內(nèi)箱采用 316L 醫(yī)用級不銹鋼
溫度范圍:80-200℃
真空度:≤1torr
工藝數(shù)量:5個工藝設(shè)定并保存
操作界面:智能型彩色人機界面,一鍵完成工藝
真空泵:無油渦旋真空泵(或旋片油泵)
HMDS預(yù)處理機烘箱其他功能
HMDS低液位報警提示功能
工藝數(shù)據(jù)記錄功能
脫水烘烤
溫度保護程序鎖定保護
圖形反轉(zhuǎn)功能
HMDS藥液泄漏報警提示功能