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半導體制造廠氣溶膠粒子計數(shù)監(jiān)測系統(tǒng)是一種的技術(shù)設(shè)備，基于激光散射原理的多通道粒子計數(shù)傳感器，可準確測量包含0.3μm,、0.5μm、1μm、3μm、5μm、10μm行業(yè)通用的6種粒徑。主要用于實時監(jiān)控和記錄空氣中微粒的數(shù)量、大小以及分布情況。
半導體制造廠氣溶膠粒子計數(shù)監(jiān)測系統(tǒng)采用工業(yè)級激光器與感光部件，結(jié)合我司一代光散射顆粒物監(jiān)測技術(shù)，精心調(diào)校的光學和氣路結(jié)構(gòu)，以及全新一代高頻弱信號處理電路和高精度粒子識別算法，更準確的測量各種有潔凈度要求的環(huán)境粒子濃度。該系統(tǒng)主要由五大核心部分組成，每一部分都扮演著至關(guān)重要的角色，確保整個系統(tǒng)的準確運行和高效性能。
產(chǎn)品特點
數(shù)據(jù)準確：單顆粒激光散射原理，工業(yè)級激光光源。計數(shù)效率高，重復(fù)性和 一致性好。
粒徑范圍：粒徑范圍 0.3~10μm，保證計數(shù)效率同時，單臺傳感器覆蓋六通道。
可靠性高：空氣動力學修正, 光路和氣路自檢，對震動不敏感，保證系統(tǒng)可靠性與穩(wěn)定性。
流量穩(wěn)定：采用主動采樣方式，采用恒流進氣風扇，選配 PID 流量控制功能，
可支持穩(wěn)定、長時間、高負壓、采樣；可選氣泵版，外置高性能氣泵模塊。
響應(yīng)快速：秒級數(shù)據(jù)更新。
全自動測量：可遠程控制，無線傳輸，數(shù)據(jù)實時上傳至物聯(lián)網(wǎng)平臺。
電路安全：具有 ESD、過壓、過流、反接保護，確保電路的穩(wěn)定性及可靠性。
安裝便捷：安裝結(jié)構(gòu)簡單，通用性高。
安全友好：低壓供電，無電擊；無放射源，無光污染。
軟件有完整的事件記錄，包括傳感器的工作狀態(tài)、登錄用戶的所有操作和報警事件等。
系統(tǒng)設(shè)有現(xiàn)場聲光報警（具有現(xiàn)場消音功能），可支持短信報警功能，用戶可任意設(shè)定超限報警級別、預(yù)報警級別。
配置多色報警器，可在生產(chǎn)現(xiàn)場提供聲音或可視的報警信號，因此，報警燈應(yīng)放置在顯眼的位置， 并可將警報可以轉(zhuǎn)換成多色信號燈顯示，還可以選配短信報警器。
技術(shù)指標
氣溶膠粒子計數(shù)在線監(jiān)測系統(tǒng) | |||
類別 | 序號 | 產(chǎn)品名稱 | 參數(shù)規(guī)格 |
主機 | 1 | 數(shù)據(jù)采集儀 | l 性能參數(shù)：NXP i.MX6UL處理器，Cortex®-A7內(nèi)核，主頻528MHz，內(nèi)置linux操作系統(tǒng)； l 多通道數(shù)據(jù)采集接口，3路232和3路485接口，支持MODBUS協(xié)議，超標報警推送、超標告警查詢、全天候24實時在線監(jiān)測，可集成多種傳感器探頭； l 支持遠程登錄、自動重啟遠程升級、遠程更新設(shè)備軟件； l 控制功能：能通過上位機控制檢測儀表設(shè)置數(shù)據(jù)采集頻率、系數(shù)校準、時間同步、報警參數(shù)設(shè)置等功能； l 支持插入U盤自動升級軟件程序功能； l 具備以太網(wǎng)接口，直接通過局域網(wǎng)或internet與上位機通訊； l 具備數(shù)據(jù)超標聯(lián)動報警功能，可聯(lián)動報警燈、攝像頭抓拍等； l 數(shù)據(jù)存儲：內(nèi)置大容量SD卡，可存儲一年以上的原始監(jiān)測數(shù)據(jù)，并可通過有線或者無線方式顯示到LED屏幕上或者云平臺軟件； l 設(shè)備數(shù)據(jù)傳輸符合國家通信標準HJ212-2017傳輸協(xié)議； l 具備GPS定位功能，實時定位設(shè)備所處地理位置； l 斷網(wǎng)續(xù)傳功能：在設(shè)備離線的情況下，正常監(jiān)測數(shù)據(jù)，設(shè)備恢復(fù)網(wǎng)絡(luò)后遠程補傳； l 可擴展性：可擴展添加噪聲，顆粒物，含氧量檢測指標等參數(shù)。 |
監(jiān)測參數(shù) | 2 | 粒子計數(shù)傳感器 | |
l 測量輸出：0.3~10μm 共 6 通道粒子數(shù) l 量程：4,000,000 個 /ft3 l 計數(shù)效率：0.3μm/50% >0.45μm/100%（@25℃,50%RH） l 相對誤差：±15%（@25℃,50%RH） l 工作溫度范圍：-20-60℃ l 溫度范圍：0-99%RH l 工作大氣壓力：86KPa~110KPa | |||
3 | 風速傳感器（選配） | ||
l 測量范圍：0-1m/s ；1-20 m/s l 測量精度：±0.1 m/s l 工作范圍：溫度：0-50℃，濕度：＜85%RH l 響應(yīng)時間：＜3秒 | |||
4 | 壓力傳感器（選配） | ||
l 測量范圍：默認-120Pa~120Pa l 壓差精度:±(3%讀數(shù)±0.08Pa)@25℃ l 壓差分辨率：0.1Pa l 長期穩(wěn)定性:≤0.05Pa/y l 響應(yīng)時間:1S | |||
5 | 溫濕度傳感器（選配） | ||
l 測量范圍：溫度：-40-120℃濕度：0-100%RH l 測量精度：溫度：±0.5℃濕度：±3%RH l 分辨率：溫度：0.1℃；濕度：0.1%RH | |||
監(jiān)控 云平臺 | 6 | 云平臺功能 | l 查詢：此功能主要用于多臺設(shè)備進行數(shù)據(jù)對比查詢； l 歷史查詢：歷史查詢主要用于查詢設(shè)備某天或某小時的數(shù)據(jù)曲線查詢及報表下載； l 曲線分析：曲線分析是用于分析一個時間段內(nèi)的要素變化，可以在曲線上進行拖動； l 站點管理：這個功能是用于添加或更改站點 l 電子地圖：在線狀態(tài)，故障狀態(tài) l 實時數(shù)據(jù)：實時數(shù)據(jù)查詢，小時平均值，日平均值數(shù)據(jù)統(tǒng)計，最大值最小值統(tǒng)計 |
