晶圓輪廓儀WEP-150EN/200EN/300EN系列可以非接觸自動(dòng)測(cè)定2"- 6"、4"- 8"、8"- 12"晶圓的邊緣倒角形狀以及切口面倒角形狀的尺寸。選配自動(dòng)上下料單元還可以實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。
• 適用于2” 到 12”晶圓
• 適合于各種材質(zhì)的晶圓
• 可測(cè)晶圓邊緣倒角形狀
• 可測(cè)晶圓切口面倒角形狀
• 非接觸測(cè)量,無(wú)污染,無(wú)損傷
• 可自動(dòng)存儲(chǔ)測(cè)量結(jié)果
• 操作界面友好,使用方便
• 針對(duì)晶圓測(cè)量設(shè)計(jì),專業(yè)化水平高