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廣電計量檢測集團股份有限公司

紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱四方光電(武漢)儀器有限公司
  • 品       牌四方儀器
  • 型       號Gasboard-2
  • 所  在  地武漢市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2025/5/27 10:53:19
  • 訪問次數(shù)250
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  四方光電(武漢)儀器有限公司(以下簡稱“四方儀器”)為四方光電股份有限公司(代碼688665)的全資子公司,成立于2010年,是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測量方案的高新技術(shù)企業(yè),服務于環(huán)境監(jiān)測、過程氣體監(jiān)測、智慧計量等領(lǐng)域。
  基于四方光電核心氣體傳感技術(shù)平臺的優(yōu)勢,四方儀器開發(fā)了系列非分光紅外(NDIR)、紫外差分吸收光譜(UV-DOAS)、激光拉曼(LRD)、超聲波(Ultrasonic)、熱導(TCD)、光散射探測(LSD)等技術(shù)原理的氣體成分流量儀器儀表,產(chǎn)品廣泛應用于環(huán)境監(jiān)測、冶金、煤化工、生物質(zhì)能源等各個行業(yè),在節(jié)能減排中發(fā)揮重要作用。四方儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的便攜式紅外沼氣分析儀、微流紅外煙氣分析儀、紅外煤氣分析儀曾相繼獲得國家重點新產(chǎn)品證書,紅外煤氣分析儀獲得中國儀器儀表學會優(yōu).秀產(chǎn)品獎榮譽,其核心技術(shù)獲得湖北省發(fā)明ZL金獎。四方儀器“微流紅外煙氣傳感器研究及產(chǎn)業(yè)化”獲得工信部2019年工業(yè)強基工程重點“產(chǎn)品、工藝”應用計劃示范項目,公司獲得應用計劃示范企業(yè)。
  四方儀器憑借長期的技術(shù)沉淀、嚴格的質(zhì)量體系及國.際化視野,產(chǎn)品已出口多個國家和地區(qū),正在朝著氣體分析儀器儀表增值應用領(lǐng)域的優(yōu)秀品牌邁進。






煙氣分析儀,尾氣分析儀,煤氣分析儀,過程氣體分析儀,沼氣分析儀,紅外氣體分析儀,燃燒效率分析儀,溫室氣體分析儀,二氧化碳分析儀,氣體檢測儀
輸出信號 其他 線性度 ±1%F.S
制作工藝 其他 重復性 ±0.5%F.S
檢測原理 NDIR 檢測氣體 WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程 1~264ppm(0~200mTorr)
紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝 產(chǎn)品信息

紅外氣體傳感器 半導體行業(yè)薄膜沉積工藝


產(chǎn)品名稱:紅外氣體傳感器

產(chǎn)品型號:Gasboard-2061


紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。


紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

(1)使用NDIR技術(shù),多氣體監(jiān)測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

(2)響應時間快,高靈敏度

(3)無耗材

(4)模擬/數(shù)字通信

(5)模塊化設計,便于集成


紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)


檢測原理NDIR
檢測氣體WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測限1ppm








應用領(lǐng)域

半導體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測

關(guān)鍵詞:傳感器
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