LW400LJT/LW400LMDT大平臺(tái)無(wú)窮遠(yuǎn)芯片檢查金相顯微鏡
大平臺(tái)無(wú)窮遠(yuǎn)芯片檢查顯微鏡是適用于半導(dǎo)體晶圓的檢驗(yàn)、芯片封裝、電路基板、材料等行業(yè)?？蛇M(jìn)行偏光與明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)觀(guān)察轉(zhuǎn)換。專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)的大移動(dòng)范圍載物臺(tái)，移動(dòng)范圍:8"×8"(204mm×204mm)，滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)的需求。粗微動(dòng)同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，粗動(dòng)松緊可調(diào)，帶限位鎖緊裝置，微動(dòng)格值:0.7μm。三目鏡筒，可進(jìn)行99%透光攝影。
標(biāo)準(zhǔn)配置
技術(shù)規(guī)格 | |||
目鏡 | 大視野 WF10X(視場(chǎng)數(shù)Φ22mm) | ||
無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡 | LW400LJT | PL L5X/0.12 工作距離：26.1 mm | |
PL L10X/0.25 工作距離：20.2 mm | |||
PL L20X/0.40 工作距離：8.80 mm | |||
PL L50X/0.70 工作距離：3.68 mm | |||
PL L80X/0.80 工作距離：1.25 mm | |||
LW400LMDT | PL L5X/0.12 BD 工作距離：9.70 mm | ||
PL L10X/0.25 BD 工作距離：9.30 mm | |||
PL L20X/0.40 BD 工作距離：7.23mm | |||
PL L50X/0.70 BD 工作距離：2.50 mm | |||
PL L80X/0.80 BD 工作距離：1.25 mm | |||
目鏡筒 | 三目鏡30?傾斜, 可99%通光攝影 | ||
落射照明系統(tǒng) | LW400LJT | 6V30W鹵素?zé)?，亮度可調(diào) | |
LW400LMDT | 12V50W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào) | ||
內(nèi)置視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、(黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃)濾色片轉(zhuǎn)換裝置，推拉式檢偏器與起偏器 | |||
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動(dòng)格值:0.7μm | ||
轉(zhuǎn)換器 | 五孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位) | ||
載物臺(tái) | 機(jī)械式載物臺(tái)，外形尺寸：280mmX270mm，移動(dòng)范圍：橫向（X）204mm，縱向（Y）204mm | ||
