一、智能動態(tài)配氣儀特點(diǎn)
高精度、高分辨率控制
低功率（功率大小取決于配氣路數(shù)）
各路 MFC 集成 20 種基礎(chǔ)氣體種類
各路 MFC 可自定義 10 種混合氣體（20 種基礎(chǔ)氣體種類按比例混合）
數(shù)字化控制，RS-485 Modbus RTU 通信模式
寬流量量程范圍
無需預(yù)熱
無安裝方向限制
具有高重復(fù)性和高可靠性
采用電磁比例閥，使用壽命長，響應(yīng)速度快
自帶溫度補(bǔ)償，補(bǔ)償范圍 0-50℃
內(nèi)部閉環(huán)控制，具有高穩(wěn)定性
小封裝尺寸
二、智能動態(tài)配氣儀量程及精度簡介
稀釋比：最高 1000:1（更高稀釋比建議咨詢廠家）
各路 MFC 滿量程精度：±0.2%
各路 MFC 讀取精度：±0.8%
各路 MFC 可重復(fù)性：±0.2%FS
各路 MFC 響應(yīng)時(shí)間：＜100ms（調(diào)節(jié) PID控制參數(shù)可縮短響應(yīng)時(shí)間），數(shù)字式設(shè)計(jì)簡介
動態(tài)稀釋儀內(nèi)部配置了高精度質(zhì) 量流量控制器（MFC），各路 MFC 標(biāo)配高精度傳
感器和數(shù)字電路，數(shù)字電路可完成測量及控制所需的所有基本功能。質(zhì)量流量控制器采用標(biāo)準(zhǔn)的RS-485 Modbus RTU 通信模式。
三、應(yīng)用領(lǐng)域
氣相和液相色譜儀
半導(dǎo)體工藝
環(huán)境監(jiān)測設(shè)備
微反應(yīng)裝置及材料制備實(shí)驗(yàn)裝置（CVD）
氣體發(fā)生器
配氣混氣系
四、功能介紹
流量控制 ---可實(shí)現(xiàn)高精度、高重復(fù)性、多種氣體質(zhì)量流量控制。
獨(dú)立使用 ---無需連接任何設(shè)備，可通過屏幕完成大部分功能操作。
多種量程選擇 ---根據(jù)稀釋比需求各路 MFC 量程最小量程 10sccm，最大量程 50slpm 可選。
內(nèi)置 20 種基本氣體 ---各路 MFC 內(nèi)置 20 種基本氣體，氣體種類可定制。
10 種自定義混合氣 ---各路 MFC 可根據(jù)使用需求，自定義混合氣。
電氣接口 ---標(biāo)準(zhǔn)配置 1 個 AC220V 三項(xiàng)插座
控制方式 ---屏幕使用 RS-485 通信與內(nèi)部 MFC 進(jìn)行通信。
標(biāo)準(zhǔn) Modbus-RTU ---RS-485 通信采用標(biāo)準(zhǔn) Modbus-RTU 通信協(xié)議。
五、技術(shù)參數(shù)
1.運(yùn)行參數(shù)
各路 MFC 讀數(shù)精度 ±0.8% Rdg
各路 MFC 滿量程精度 ±0.2% FS
各路 MFC 重復(fù)性 ＜±0.2% FS
各路 MFC 零點(diǎn)漂移和滿量程漂移 ＜±0.02% FS/℃/Atm
稀釋比 1000:1
各路 MFC 典型響應(yīng)時(shí)間 ＜100 毫秒（可調(diào)節(jié) PID 參數(shù)達(dá)到更短時(shí)間）
各路 MFC 啟動預(yù)熱時(shí)間 ＜1 秒
各路 MFC 標(biāo)準(zhǔn)工況 20℃&101.325kPa（標(biāo)準(zhǔn)工況溫度可通過 RS485 調(diào)整）
各路耐壓 1 MPa
安裝方向要求 無
電氣參數(shù) 工作電壓 AC 220V±15%
功率 取決于配氣儀路數(shù)
數(shù)字控制信號 RS-485 Modbus-RTU
電信號接口 AC220V 三項(xiàng)插座
2.物理參數(shù)
各路 MFC 閥門 比例閥（常閉）
各路 MFC 通過介質(zhì) 干燥氣體
各路 MFC 工作溫度 0-50℃
各路 MFC 傳感器溫度補(bǔ)償范圍 0-50℃
各路 MFC 工作濕度 0-100%（非冷凝）
存儲溫度 -40~85℃
各路 MFC 泄漏率 ＜0.020sccm He (壓差 150psi)
