


• 在MEMS和封裝領(lǐng)域,SUSS涂膠顯影設(shè)備得到廣泛應(yīng)用和客戶支持
• 提供包括PR/PI的旋涂/噴涂、顯影、HMDS處理、熱板和冷板等功能,集成了如去厚膠邊,背面清洗,工藝腔自動(dòng)清洗等功能。
• 同時(shí),涂膠/顯影模塊可以通過(guò)準(zhǔn)確控制工藝參數(shù),如加裝溫濕度控制系統(tǒng)、涂膠/顯影方式、溫度、時(shí)間和用量,以達(dá)到工藝效果。





東莞市微觀科學(xué)儀器有限公司,坐落于東莞松山湖科技產(chǎn)業(yè)園廣東華中科技大學(xué)工業(yè)研究院。微觀科學(xué)專注于微觀領(lǐng)域,致力于打造觀察、測(cè)量、分析一站式綜合服務(wù)平臺(tái);提供實(shí)驗(yàn)室工程整體解決方案;提供非標(biāo)自動(dòng)化測(cè)量解決方案。主要合作產(chǎn)品有:日立電子顯微鏡、德國(guó) FISCHER 全系列測(cè)厚儀等全系列實(shí)驗(yàn)室儀器。廣泛應(yīng)用于鑄造、冶金、金屬加工、機(jī)械制造、航kong航天、醫(yī)療、電力、石化、半導(dǎo)體、金屬回收、電子、塑膠、高校、科研機(jī)構(gòu)、質(zhì)檢機(jī)構(gòu)等眾多行業(yè)領(lǐng)域。
• 在MEMS和封裝領(lǐng)域,SUSS涂膠顯影設(shè)備得到廣泛應(yīng)用和客戶支持
• 提供包括PR/PI的旋涂/噴涂、顯影、HMDS處理、熱板和冷板等功能,集成了如去厚膠邊,背面清洗,工藝腔自動(dòng)清洗等功能。
• 同時(shí),涂膠/顯影模塊可以通過(guò)準(zhǔn)確控制工藝參數(shù),如加裝溫濕度控制系統(tǒng)、涂膠/顯影方式、溫度、時(shí)間和用量,以達(dá)到工藝效果。
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