ZLS-23B氦質(zhì)譜檢漏儀性能指標:
型 號 zui小可檢漏率Pa.m3/s
ZLS-23B 2·10-11
ZLS-24B 2·10-11
ZLS-24C 2·10-11
型 號 反應(yīng)(清除)時間 s
ZLS-23B <3
ZLS-24B <3
ZLS-24C <3
ZLS-26D/T <3
型 號 讀數(shù)方式
ZLS-23B 表頭(mV)
ZLS-24B 表頭和數(shù)字(量程自動切換)
ZLS-24C 表頭和數(shù)字(量程自動切換)
ZLS-26D/T 數(shù)字直讀
型 號 特 點
ZLS-23B 單主機,帶標準漏空
ZLS-24B 帶一套粗抽系統(tǒng)(泵2XZ-4B),配有一只校準漏孔
ZLS-24C 帶二套粗抽系統(tǒng),適用于批量檢漏,配有一只校準漏孔
ZLS-26D/T 渦輪分子泵(德國萊寶50型)前級(日本GLD030)粗抽泵(英國 EDWARDERV12),配有一只校準漏孔