新一代鍍膜儀-EMS150R 型鍍膜儀（真空鍍膜儀/噴碳儀/蒸鍍儀）采用技術(shù)研制而成，彩色觸摸液晶屏，快速的參數(shù)輸入，數(shù)種碳絲匹配，友好的用戶界面，帶給你不一般的操作感受！
產(chǎn)品參數(shù)：
| 儀器尺寸 | 585mm（W） x 470mm（D） x 410mm（H） |
| 包裝尺寸 | 725mm W x 660mm D x 680mm H （36.8kg） |
| 工作腔室 | 硼硅酸鹽玻璃152mm （內(nèi)直徑）x 127mm H |
| 安全鐘罩 | 聚乙烯對(duì)苯二酸，柱形 |
| 顯示屏 | 彩色液晶320 x 240 |
| 用戶界面 | 直觀的圖形界面，觸摸鍵。記憶功能：維護(hù)提醒及zui后十個(gè)鍍膜方案日志記錄 |
| 重量 | 28.4Kg |
| 樣品臺(tái) | 直徑為50 mm的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，上有6個(gè)樣品座，可配15mm, 10mm, 6.5mm或者3.1mm樣本座，轉(zhuǎn)速為8-20rpm |
| 真空泵 | Edwards RV3 50L/s兩級(jí)真空泵，Pirani 真空計(jì) |
| 極限真空度 | 潔凈系統(tǒng)可達(dá) 2x10-2 mbar，充氮?dú)?/div> |
| 噴鍍真空范圍 | 3 x 10-2 -5 x 10-1mbar |
| 安培計(jì) | 碳繩：0-60 Amps，1.4mm Ø碳棒：1-90 Amps |
提供3個(gè)版本的儀器：
EMS150R S – 噴金儀/離子濺射儀（適用于真空噴鍍非氧化型金屬，如金，鉑，鈀等）
EMS150R E – 噴碳儀/碳蒸鍍儀（適用于真空噴鍍碳膜，特別適用于SEM）
EMS150R ES –真空鍍膜儀（離子濺射儀和碳蒸鍍儀的結(jié)合體）
產(chǎn)品信息：
| 貨號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | 規(guī)格 |
| 4500 | EMS150R S Rotary pumped sputter coater, includes an 57mm Ø x 0.1mm gold target | 臺(tái) |
| 4503 | EMS150R E Rotary pumped carbon fibre evaporator, supplied with carbon fibre / cord | 臺(tái) |
| 4507 | EMS150R ES Rotary pumped sputter coater, includes an 57mm Ø x 0.1mm gold target, and carbon fibre evaporator, supplied with carbon fibre / cord | 臺(tái) |
噴鍍耗材選購(gòu)：
| 貨號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | 規(guī)格 |
| 4538 | Carbon fibre cord - high purity – 1m | 1m |
| 4539 | Carbon fibre cord - high purity - 5m | 5m |
| 4540 | Carbon fibre cord - standard grade - 1m | 1m |
| 4541 | Carbon fibre cord - standard grade - 10m | 10m |
| 4542 | Carbon fibre cord - standard grade - 100m | 100m |
| 4543 | Carbon rods - 3.05mm Ø x 50mm length （shaped） | 10根 |
| 4544 | Carbon rods 3.05mm Ø x 300mm length （unshaped） | 10根 |
| 4546 | Manual rod shaper for 3.05mm Ø carbon rods | 個(gè) |
| 4523 | 57mm Ø x 0.1mm Gold | 個(gè) |
| 4524 | 57mm Ø x 0.2mm Gold | 個(gè) |
| 4525 | 57mm Ø x 0.3mm Gold | 個(gè) |
| 4526 | 57mm Ø x 0.1mm Gold/Palladium （80/20%） | 個(gè) |
| 4527 | 57mm Ø x 0.2mm Gold/Palladium （80/20%） | 個(gè) |
| 4528 | 57mm Ø x 0.3mm Gold/Palladium （80/20%） | 個(gè) |
| 4529 | 57mm Ø x 0.1mm Platinum | 個(gè) |
| 4530 | 57mm Ø x 0.2mm Platinum | 個(gè) |
| 4561 | 57mm Ø x 0.3mm Platinum | 個(gè) |
| 4532 | 57mm Ø x 0.1mm Nickel | 個(gè) |
| 4533 | 57mm Ø x 0.1mm Silver | 個(gè) |
| 4534 | 57mm Ø x 0.1mm Palladium | 個(gè) |
| 4535 | 57mm Ø x 0.1mm Copper | 個(gè) |
| 4536 | 57mm Ø x 0.1mm Platinum/Palladium （80/20%） | 個(gè) |
| 4537 | 57mm Ø x 0.3mm Platinum/Palladium （80/20%） | 個(gè) |
