EMS 575T是一款渦輪泵雙頭高分辨率鍍膜儀（噴金儀）。EMS-575T樣本放置在旋轉樣品臺上（the rotary stage），蓋好蓋子（the chamber lid），按下啟動按鈕，渦輪分子泵開始加速，5秒鐘后，機械泵開始啟動，同時十秒氣體排空程序啟動，兩個泵同時運行確保一個高真空。當渦輪泵加速，它的速度由柱狀圖來標示，到達速度的一半時，真空計扭至自動狀態(tài)。當腔內氣體壓降為10-4 mbar，排氣開始，腔內氣壓維持在1 x 10-2 and 1 x 10-3 mbar之間，排氣的zui后階段，靶材按照預訂鍍膜時間開始噴鍍。鍍膜需要兩種不同金屬的，不需要關泵，繼續(xù)濺射另一種金屬。噴鍍完成后，兩個泵停止，排氣閥排氣。
儀器質保期2年。模塊化的單元結構使得儀器維護方便，摘掉問題模塊，換上無問題的模塊，儀器即可很好的運行，一點不會耽誤實驗進程。
性能特征：
- 全自動一鍵式操作，微處理器數(shù)字控制方式，可預設參數(shù)
- LCD屏實時顯示狀態(tài)參數(shù)
- 質保期：標準保修期為一年
- 高分辨率精細鍍層（不超過0.5nm的鉻顆粒大?。?/div>薄金屬鍍層，典型5nm厚渦輪分子泵Peltier冷卻雙濺射頭，無需冷卻水雙濺射頭：一次真空條件下，可順序濺射兩種不同的材料，對于需要依次噴鍍兩種金屬的樣品特別適用磁控濺射靶源設計旋轉機械泵為備用泵，機械泵為外部安裝式儀器參數(shù)：儀器尺寸450mm（W） x 350mm（D） x 175mm（H）工作腔室硼硅酸鹽玻璃: 165mm（Dia.） x 125mm（H）加不銹鋼底座110mm（Dia.） x 115mm（H）重量42Kg靶材54mm（Dia.） x 0.2mm（Thick） （標準鉻靶材和金靶材）樣品臺60mm（Dia.） ，以60 r.p.m 旋轉，一定的傾斜度真空泵工作范圍 （Penning）ATM to 1x10-7 mbar，鍍膜腔體極限真空度10-7 mbar操作真空1x10-3 mbar to 1x10-4 mbar濺射電流0-175mA濺射時間0-4 minutes功率1000v at 100 ma, 100 watts沉積速率30nm/min at 100ma渦輪分子泵60 litres/Second （Ultimate vacuum 1x10-8 mbar）電源配置230 volts 50Hz （6 amp Max incl pump）ServicesArgon Nominal 4 psi真空泵（*配件）附帶真空管和油氣過濾器訂購信息：貨號產品名稱規(guī)格91110-THEMS 575T Twin Head Sputter Coater， complete with Target臺91005Rotary Vacuum Pump個92045EMS 50 Water Chiller個
EMS 550具有旋轉樣品臺，可傾斜，適合各種樣品。參數(shù)可預設，全自動控制保證獲得精確的鍍層厚度。低電壓濺射、冷濺射、精細顆粒等功能的使用，大大提高了工作效率。腔室直徑為165 mm（6英寸），非常方便裝載及移走樣品。 儀器裝有60mm直徑、0.1mm厚的金靶（可選）。可選靶材包括金/鈀，鉑/鈀和鉑。 各種功能都集中設計在儀表板上，使用方便，滿足不同學科的用戶使用要求。 濺射參數(shù)可預設，包括氣體放氣針閥（此閥為電磁閥），一旦設置，就不需要再調節(jié)。濺射頭互鎖，系統(tǒng)可選配EMS250鍍碳附件。
EMS 550本儀器為全自動操作，可控制獨立的真空泵。EMS500是EMS550的手動版本，其樣品臺不帶自動旋轉功能，其它參數(shù)與EMS550*相同。下圖為EMS550的外觀圖片：
性能特征：- 旋轉且可傾斜樣品臺
- 高質量鍍層厚度（2nm 金膜）
- 精確的可重復性能
- 均勻沉積厚度
- 復合樣本固定器
- 全自動控制
- 低耗冷卻系統(tǒng)，無需冷卻樣本及樣品臺
- 低壓濺射
- 20nm（或20埃）
- 微電子控制
- 聚碳酸酯安全殼體
儀器參數(shù)：儀器尺寸450mm（W） x 350mm（D） x 175mm（H）工作腔室硼硅酸鹽玻璃: 165mm（Dia.） x 125mm（H）安全罩聚碳酸酯重量18Kg靶材60 mm 直徑 x 0.1mm 厚（金靶為標準靶材）樣品臺60mm（Dia.） ，靶面距在25mm－45mm之間可調真空泵工作范圍ATM-1x10-2 mbar濺射電流0-50mA濺射鍍膜時間0-4 minutes沉積速率0-25nm/分電源配置230 volts 50Hz （6 amp Max incl pump）產品信息：貨號產品名稱規(guī)格91000EMS 550 Sputter Coater complete with Target臺91000-MAEMS 500 Manual Sputter Coater臺91005Rotary Vacuum Pump
Targets 60mm （Dia.） x 0.1mm （Thick） fitted inclusive as standard個
