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FFU(Fan Filter Unit)是風(fēng)機和過濾器的組合，也可稱為“自帶風(fēng)機的過濾設(shè)備”。
FFU通常安裝在潔凈室的送風(fēng)末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。
FFU上面部分為風(fēng)機模塊，下面部分為過濾器。根據(jù)潔凈度的要求，過濾器可為不同等級的高效（HEPA）或超高效（ULPA）過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。
風(fēng)機模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力，還要克服整個循環(huán)風(fēng)所有通道部件的阻力，從而維持設(shè)定的運行風(fēng)速。FFU系統(tǒng)具有設(shè)計施工簡便，風(fēng)速調(diào)節(jié)靈活，潔凈區(qū)易于變更等特點，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一。
FFU具有特點：
*：靈活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會帶來二次投資。
第二：可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三：負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU的*特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對于潔凈廠房負(fù)壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且安全。
第四：縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因為風(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
第五：減少運行成本。雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護等特點。用在循環(huán)減少40%的運行成本。
參考：www.ljcleaner.com www.gdlingjie.com
技術(shù)咨詢：梁-/ ：
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