油擴(kuò)散噴射泵廣泛用于真空冶煉、空間模擬試驗(yàn)、真空鍍膜和對油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。在真空系統(tǒng)中,它可以用作為主抽泵,也可串聯(lián)在油擴(kuò)散泵與機(jī)械真空泵之間,用來提高抽氣系統(tǒng)在中間壓力范圍的抽氣量和降低前級(jí)機(jī)械真空泵的抽速容量。因此它又常稱為油增壓泵。
同油擴(kuò)散真空泵一樣,它也由擴(kuò)散噴嘴、噴射噴嘴、泵體、擴(kuò)散器、油鍋、蒸氣導(dǎo)管、冷卻系統(tǒng)和加熱器等部分組成(見圖)。但在性能和泵的結(jié)構(gòu)上,它同油擴(kuò)散泵有不同之處。兩者的極限真空不同,油擴(kuò)散泵為10-4~10-5帕以至低于10-5帕,而油擴(kuò)散噴射泵則為10-2帕。油擴(kuò)散泵在10-1~10-4帕壓力范圍內(nèi)要求有滿抽速,而油擴(kuò)散噴射泵則要求在1~10-1帕壓力范圍內(nèi)有滿抽速。如兩者名義抽速相同,后者的排氣量就比前者大。油擴(kuò)散泵裝設(shè)有分餾和凈化裝置,而油擴(kuò)散噴射泵不但不要裝分餾和凈化裝置,還要采用較大的加熱功率加熱和采用沸點(diǎn)低、飽和蒸氣壓高的泵油,致使油擴(kuò)散噴射泵的油鍋蒸氣壓比擴(kuò)散泵大數(shù)倍或數(shù)十倍,即高達(dá)數(shù)百帕以至數(shù)千帕。油擴(kuò)散噴射泵需要裝設(shè)大擴(kuò)張率(噴嘴的出口面積與其喉部面積之比)的噴射噴嘴和長的擴(kuò)散器來提高泵的前級(jí)反壓力,這樣泵就能穩(wěn)定地在10-1~1帕壓力范圍或在更高一點(diǎn)的壓力范圍工作。因此,油擴(kuò)散噴射泵是兼具油擴(kuò)散泵和噴射泵(見水蒸汽噴射真空泵)抽氣性能的真空泵。
中環(huán)真空泵廠告訴您:在工作中,為了防止泵油的氧化,油擴(kuò)散噴射泵的啟動(dòng)也與油擴(kuò)散泵一樣,要用前級(jí)泵預(yù)抽到1帕真空,油鍋才可開始加熱。
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