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半導(dǎo)體制程中硅烷(SiH4)是一種特種氣體，在半導(dǎo)體工業(yè)中主要用于制作高純多晶硅、通過CVD(化學(xué)氣相沉積)工藝制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)等。
廢氣處理設(shè)備處理SIH4廢氣
SiH4在使用后會產(chǎn)生的廢氣，如果未經(jīng)廢氣處理設(shè)備治理就直接高濃度對外排放，對人體和環(huán)境的惡劣影響是無法估量的。
硅烷作為一種提供硅組分的氣體源，反應(yīng)性和自燃性強(qiáng)烈，有非常寬的自發(fā)著火范圍和極強(qiáng)的燃燒能量，毒性很大，如果人體吸入硅烷就會強(qiáng)烈刺激呼吸器官，是一種高危險(xiǎn)性的氣體。
在半導(dǎo)體工廠中，因工作區(qū)域一般離中心廢氣處理系統(tǒng)遠(yuǎn)，為了避免在冗長的排氣過程中引發(fā)非預(yù)期的氣體泄漏，局部聚積等問題，硅烷(SiH4)廢氣從無塵室機(jī)臺端(POU)反應(yīng)被排放出后，即先由真空Pump抽至廢氣處理設(shè)備Local Scrubber做處理，待處理過后的氣體再接續(xù)至廠務(wù)端做第二道處置。
綜上，諸如硅烷(SiH4)此類危險(xiǎn)性廢氣如若未及時處理，倘若其一旦有故障進(jìn)而發(fā)生泄漏的問題，很可能會導(dǎo)致各種危害如火災(zāi)爆炸、人員中毒、環(huán)境破壞等傷害，嚴(yán)重時更可能造成人員傷亡或生產(chǎn)中斷等巨大損失。同時，隨著半導(dǎo)體工藝分工越發(fā)細(xì)微，應(yīng)根據(jù)不同工藝衍生出來的氣體特性，選擇搭配合適的廢氣處理設(shè)備，才能更有效的解決廢氣問題。
蓋斯帕克在廢氣處理上有非常豐富的經(jīng)驗(yàn)，針對硅烷、氫氣、氯氣、三氟化氫等危險(xiǎn)氣體有專業(yè)且成熟的解決方案，另外，介紹五種治理廢氣分方法，供大家參考。(實(shí)際應(yīng)用需參考現(xiàn)場實(shí)際情況，需專業(yè)人士指導(dǎo))
廢氣處理設(shè)備治理廢氣的方法？
01
冷凝回收法
冷凝回收法是把廢氣直接導(dǎo)入冷凝器或先經(jīng)吸附吸收后，解析的濃縮廢氣導(dǎo)入冷凝器，冷凝液經(jīng)分離可回收有價(jià)值的有機(jī)物的一種方法。
優(yōu)點(diǎn)：冷凝法主要用于高沸點(diǎn)和高濃度的VOC污染氣體的回收,適用的濃度范圍>5%(體積)，其流程簡單、回收率高
缺點(diǎn)：該法需要有附設(shè)的冷凍設(shè)備，投資大、能耗高、運(yùn)行費(fèi)用大，同時冷凝后尾氣仍然含有一定濃度的有機(jī)物，二次污染嚴(yán)重，因此對低濃度尾氣治理本法很少使用。
02
吸收法
吸收法可分為化學(xué)吸收及物理吸收，由于有機(jī)廢氣中含有大量的“三苯”氣體，化學(xué)活性低，一般不能采用化學(xué)吸收。
物理吸收是廢氣中一種或幾種組分溶解于選定的液體吸收劑中，這種吸收劑應(yīng)具有與吸收組分有較高的親和力，低揮發(fā)性，同時還應(yīng)具有較小的揮發(fā)性，吸收液飽和后經(jīng)加熱解吸再冷卻重新使用。
優(yōu)點(diǎn)：適合于溫度低、中高濃度的廢氣，能夠有選擇性地吸收硫化氫等廢氣，工藝流程簡單，且不需外加蒸汽和外加其他熱源。
缺點(diǎn)：需配備加熱解析冷凝等回收裝置，裝機(jī)體積大、投資較大，同時還存在二次污染，凈化效果不理想。
03
活性炭吸附
是將有機(jī)廢氣由排氣風(fēng)機(jī)送入吸附床，有機(jī)廢氣在吸附床被活性炭吸附劑吸附而使氣體得到凈化，凈化后的氣體排向大氣即完成凈化過程。
優(yōu)點(diǎn)：吸附率高，運(yùn)行能耗低，費(fèi)用成本低，安全可靠，適用于有爆炸的危險(xiǎn)場所，吸附劑可以回收，節(jié)能環(huán)保。
缺點(diǎn)：不耐高溫，在濕潤的條件下不能保持很好的吸附能力；易燃，較快達(dá)到飽和吸附而失去效用；產(chǎn)生二次固體或液體污染物。
04
催化燃燒法
催化燃燒是在催化劑的作用下，將廢氣中的有害可燃組分完全氧化為二氧化碳和水的過程。
優(yōu)點(diǎn)：催化燃燒器凈化率高、工作溫度低、能量消耗少、對可燃組分濃度和熱值限制少，操作簡便和安全性好。
缺點(diǎn)：有的氣體燃燒條件苛刻，需高溫、高空和高水蒸氣分壓，因此催化劑必須具備較高的活性、高熱穩(wěn)定性和較高的水熱穩(wěn)定性，以及一定的抗中毒能力
05
等離子體分解法
等離子體分解法是在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，從而使污染物得以降解去除的一種廢氣治理方法。
優(yōu)點(diǎn)：工藝簡潔，低耗節(jié)能，設(shè)備材料抗氧化強(qiáng)，抗腐蝕，使用壽命長，能高效去除含有揮發(fā)性有機(jī)物、無機(jī)物、硫化氫、氨氣等主要污染物的廢氣。
缺點(diǎn)：前期投入成本高，對于設(shè)備部件的構(gòu)型設(shè)計(jì)、制造精度、嚴(yán)密性等要求非常高。
選擇廢氣處理設(shè)備治理應(yīng)考慮哪些因素？
選擇廢氣處理裝置時應(yīng)重點(diǎn)考慮需處理的目標(biāo)氣體與副產(chǎn)物、裝置成本、使用維護(hù)成本（運(yùn)行成本）、生產(chǎn)商代理商的服務(wù)與支持Warranty、占地面積與維護(hù)空間、預(yù)防性保養(yǎng)（PM：Preventive Maintenance）頻度與難易度、二次污染、安全性、工廠實(shí)際處理效率以及國家、地方的相關(guān)環(huán)保法律法規(guī)等，其中安全性和工廠實(shí)際處理效率是最重要的因素?？傊瑧?yīng)在充分理解有害氣體的特點(diǎn)、性質(zhì)等基礎(chǔ)上，方能決定安全有效的廢氣處理方式或組合方式。
原標(biāo)題：硅烷(SIH4)廢氣處理的危險(xiǎn)性有多大？
