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愛氪森科技PH3 磷化氫氣體傳感器介紹

2024-01-26 10:33:25來源:德國EC Sense 關(guān)鍵詞:愛氪森科技氣體傳感器環(huán)境監(jiān)測閱讀量:23198

導(dǎo)讀:PH3磷化氫是半導(dǎo)體行業(yè)中常用的氣體之一,可用于制造磷化氫化學(xué)氣相沉積(CVD)過程中,因此PH3磷化氫氣體傳感器在半導(dǎo)體制造業(yè)中廣泛應(yīng)用。
  愛氪森科技PH3 磷化氫氣體傳傳感器采用三電極設(shè)計,可以連續(xù)進(jìn)行氣體濃度測量,傳感器主要由三電極系統(tǒng) (工作電極, 對電極, 參比電極)、固態(tài)電解質(zhì)組成,并在恒電位下工作,被氣體通過擴(kuò)散孔到達(dá)傳感器的工作電極,在電極的多孔微觀表面發(fā)生電化學(xué)氧化或還原反應(yīng),反應(yīng)的質(zhì)子通過聚合物電解質(zhì)遷移到對電極,電流信號大小與被測氣體濃度成正比。由第一菲克定律表示:i = nFDC
 
  因此,流過的電流與目標(biāo)氣體的濃度成正比,參比電極與恒電位儀保持電位恒定。
 

       優(yōu)點(diǎn)與特性
 
  ???
 
  · 靈敏度高
 
  0-20ppm量程范圍,分辨率可達(dá)到0.01ppm,長期使用穩(wěn)定性很好,可在持續(xù)PH3氣體的熏蒸環(huán)境中長時間使用;
 
  · 抗中毒
 
  對高濃度氣體沖擊無中毒現(xiàn)象,一定時間內(nèi)可自行恢復(fù);
 
  · 耐高濕無漏液
 
  可在高濕環(huán)境下長期工作,無漏液現(xiàn)象,傳感器性能保持穩(wěn)定;
 
  · 壽命更長
 
  采用非消耗型固態(tài)電解質(zhì)技術(shù),工業(yè)環(huán)境下長期使用靈敏度衰減小;
 
  · 微小尺寸
 
  可實現(xiàn)多參數(shù)集成設(shè)備應(yīng)用,便攜可穿戴設(shè)備集成;
 
  · 智能算法補(bǔ)償
 
  通過對環(huán)境中的溫濕度變化數(shù)據(jù)采集,對傳感器進(jìn)行有效的算法自動補(bǔ)償,確保精準(zhǔn)檢測;
 
  ·溫度范圍
 
  可在-40°C~55°C環(huán)境下正常工作;
 
  ·線性度高
 
  全量程線性測量,滿足高精度< ±5%FS
 
  輸出信號多樣化
 
  ???
 
  ·TTL UART Modbus RTU,I2C, SPI;
 
  · 4-20mA, RS485, Wifi, LoRa, 4G;
 

       應(yīng)用領(lǐng)域
 
  ???
 
  實現(xiàn)高精度的PH3磷化氫氣體濃度檢測,及時發(fā)現(xiàn)可能存在的泄漏和安全隱患,并采取相應(yīng)的措施,確保工作環(huán)境的安全和人員的健康。因此,PH3磷化氫氣體傳感器對于保護(hù)人員的安全和減少環(huán)境污染具有重要意義。以下是主要典型的一些行業(yè)應(yīng)用:
 
  ? 半導(dǎo)體行業(yè) ?
 
  PH3磷化氫是半導(dǎo)體行業(yè)中常用的氣體之一,可用于制造磷化氫化學(xué)氣相沉積(CVD)過程中,因此PH3磷化氫氣體傳感器在半導(dǎo)體制造業(yè)中廣泛應(yīng)用。
 
  ? 糧食儲藏 ?
 
  磷化氫還是糧食儲藏過程熏蒸殺蟲,殺菌,防止糧食長期存放腐敗變質(zhì)。
 
  ? 農(nóng)業(yè)生產(chǎn) ?
 
  PH3磷化氫可作為農(nóng)業(yè)殺蟲劑,因此在農(nóng)業(yè)行業(yè)中使用PH3磷化氫氣體傳感器可檢測到可能存在的磷化氫泄漏情況,保證工作環(huán)境的安全。
 
  ? 石油化工 ?
 
  PH3磷化氫可以在一些煉油過程中作為脫硫劑使用,因此在石油化工行業(yè)中也需要使用PH3磷化氫氣體傳感器來檢測磷化氫的存在和濃度。
 
  ? 實驗室 ?
 
  PH3磷化氫氣體傳感器可以用于實驗室環(huán)境中,檢測PH3磷化氫的存在,確保實驗室中的安全。
 
  EC Sense的氣體傳感器在各大行業(yè)及領(lǐng)域均得到了廣泛應(yīng)用,尤其在工業(yè)監(jiān)測領(lǐng)域,可實現(xiàn)PPB級檢測分辨率,抗干擾強(qiáng),穩(wěn)定可靠,測量精度得到大大提升,用戶認(rèn)可度高,尤其在工業(yè)安全領(lǐng)域中便攜式檢測儀、固定式工業(yè)探測報警器、氧氣分析儀、在線式監(jiān)測系統(tǒng)集成等。
 
  原標(biāo)題:PH3 磷化氫氣體傳感器(愛氪森科技)
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