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上海超硅半導(dǎo)體股份有限公司(以下簡稱“上海超硅”或“公司”)于2008年成立于上海松江，多年潛心于集成電路用200mm/300mm大尺寸單晶硅晶體生長系統(tǒng)、人工晶體、半導(dǎo)體材料等相關(guān)領(lǐng)域產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售，主要產(chǎn)品包括集成電路用200mm、300mm大尺寸拋光硅片、外延片、氬氣退火片等。項(xiàng)目生產(chǎn)工藝設(shè)備均置于潔凈廠房內(nèi)，且噪聲級(jí)較小。噪聲源主要是冷凍機(jī)組、空壓機(jī)、真空泵、風(fēng)機(jī)、水泵，以及應(yīng)急發(fā)電機(jī)組等輔助動(dòng)力設(shè)備。
生產(chǎn)區(qū)排風(fēng)有一般廢氣(廢熱)排風(fēng)和工藝排風(fēng)。工藝排風(fēng)分為酸性廢氣、堿性廢氣處理裝置布設(shè)在硅片生產(chǎn)廠房屋頂，凈化后的工藝廢氣經(jīng)排氣筒排放。在工程設(shè)計(jì)上除采用風(fēng)機(jī)減振臺(tái)基礎(chǔ)，通風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)和出風(fēng)口均加設(shè)消聲器，接頭處采用柔性軟接頭；門窗均采用隔聲門、隔聲窗。對(duì)于設(shè)置在屋頂?shù)娘L(fēng)機(jī)，加設(shè)風(fēng)機(jī)隔聲罩，以降低風(fēng)機(jī)噪聲對(duì)周圍環(huán)境的影響。
01 控制噪聲源
控制噪聲源是防治噪聲的根本措施，具體措施包括：
采用較低噪聲設(shè)備：1. 工藝排氣設(shè)備采用較低噪聲的設(shè)備，保證風(fēng)機(jī)1.5m范圍外噪聲低于85dB；2. 洗滌塔循環(huán)水泵采用較低噪聲的設(shè)備，保證水泵1.5m范圍外噪聲低于70dB。
隔離噪聲源：對(duì)于高噪聲源——電動(dòng)機(jī)采取隔離措施，在電動(dòng)機(jī)上設(shè)置防護(hù)罩，減少噪聲傳播。
02 控制噪聲傳播
通過以下措施控制噪聲傳播：
使用消聲材料：在洗滌塔機(jī)房的墻壁和房頂使用消聲材料，吸收或反射聲能。
設(shè)置隔振或減振裝置：在風(fēng)機(jī)、循環(huán)泵、洗滌塔本體和風(fēng)管的基礎(chǔ)與地面、墻壁聯(lián)接處設(shè)置隔振或減振裝置，防止通過固體傳播的噪聲。
03 個(gè)體防護(hù)
對(duì)于噪聲強(qiáng)度相對(duì)比較高的生產(chǎn)場所，佩戴個(gè)人防護(hù)用品是有效措施：
耳塞：由橡膠或軟塑料制成，隔聲效果可達(dá)25——30分貝。
耳罩：隔聲效果優(yōu)于耳塞，效果可達(dá)30——40分貝。
04 治理效果分析
該項(xiàng)目噪聲控制措施的關(guān)鍵在于將強(qiáng)噪聲源—應(yīng)急柴油發(fā)電機(jī)、空壓機(jī)和真空泵等均布置在密閉的廠房內(nèi)，采取了較嚴(yán)密的降噪措施；對(duì)于設(shè)置在屋頂?shù)睦鋮s塔、通風(fēng)機(jī)等，均采取了相應(yīng)的減振、消聲措施，抓住了項(xiàng)目降噪的主體，又未忽視局部，所采取的措施是有效、合理可行的。
05相關(guān)證明文件
每年按照工作場所職業(yè)衛(wèi)生的要求對(duì)廢氣洗滌塔和風(fēng)機(jī)區(qū)域進(jìn)行噪聲檢測，均合格。
供稿：松江區(qū)生態(tài)環(huán)境局
原標(biāo)題：上海第一批工業(yè)噪聲污染防治典型案例|上海超硅半導(dǎo)體股份有限公司廢氣洗滌塔和風(fēng)機(jī)降噪案例
