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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


科研型擴散氧化爐

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號KJ-T1300-LZ-10KS

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式:陳科查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-09-01 16:42:47瀏覽次數(shù):128次

聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線

經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:206條

所在地區(qū):河南鄭州市

聯(lián)系人:陳科 (經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品特點:1、可滿足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝2、采用高可靠性工控機+PLC模式,對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化

詳細介紹

產(chǎn)品特點:
1、可滿足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝
2、采用高可靠性工控機+PLC模式,對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化;
3、具有友好的人機界面,用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù),并可隨時顯示各種工藝狀態(tài);
4、具有多種工藝管路,可供用戶方便選擇;
5、具有強大的軟件功能,配有故障自診斷軟件,可大大節(jié)省維修時間;
6、恒溫區(qū)自動調(diào)整,串級控制,可準確控制反應(yīng)管的實際工藝溫度;
7、具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護功能; 
8、可根據(jù)用戶要求定制產(chǎn)品。
 
應(yīng)用范圍:
    本設(shè)備為科研型擴散氧化爐,適用于企業(yè)研發(fā)、大學及科研院所的科研與教學。可滿足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝。
 
產(chǎn)品參數(shù):

 

產(chǎn)品名稱科研型擴散氧化爐
產(chǎn)品型號KJ-T1300-LZ-10KS
工作溫度1300℃
應(yīng)用晶片尺寸 2~8英寸圓片
可配工藝管數(shù)量1~2管/臺
恒溫區(qū)長度300~600mm
恒溫區(qū)精度≤±0.5℃
溫度穩(wěn)定性≤±0.5℃/24h
溫度斜變能力升溫速率10℃/min,降溫速率5℃/min
預警具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護功能
更多規(guī)格可根據(jù)要求來定制

 

 

售后服務(wù)

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運行。
 3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓和簡單故障排除維修培訓。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機維護、技術(shù)講解及操作指導等)。
 5、本公司可提供運輸服務(wù),包裝方式均按照標準安全包裝進行。隨機技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認證。

 

 

關(guān)鍵詞:工控機 人機界面

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