真空閥門概述

在真空系統(tǒng)中，用來改變氣流方向，調(diào)節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件稱為真空閥門。

真空閥門在真空系統(tǒng)中的作用是：

(1)開關氣路 如圖1所示，當閥1和閥4關閉，閥2打開時，機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空，氣流流經(jīng)預真空抽氣管路；當閥2關閉，閥4打開時，機械泵可單獨對擴散泵抽真 空；當閥1和閥4同時打開時，擴散泵和機械泵可同時工作，對容器進行抽空，此時氣流流經(jīng)擴散泵。可見，閥門在這種操作中的作用是開關氣路，改變氣流的流經(jīng) 路線。

(2)控制氣流大小，調(diào)節(jié)真空度在圖1中，調(diào)節(jié)閥1的閥蓋開啟角度，即可調(diào)節(jié)流經(jīng)管路的氣流量大??；關閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過放氣閥5可以調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空度。

(3)定量充氣如圖2所示，在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞，當小洞轉(zhuǎn)向右邊和高壓氣瓶連通時，小洞中就可充滿高壓氣體；當它轉(zhuǎn)向左邊和真空容器連通時，就把該體積的高壓氣體放進容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。