真空烘箱的真空泵類(lèi)型及特點(diǎn)
真空泵是真空烘箱的核心部件,其類(lèi)型直接影響烘箱的極限真空度、抽氣速率及適用場(chǎng)景。以下是常見(jiàn)的真空泵類(lèi)型及其特點(diǎn):
一、機(jī)械式真空泵
1. 旋片式真空泵
2. 羅茨泵(機(jī)械增壓泵)
3. 滑閥泵
二、干式真空泵
1. 爪式泵
2. 螺桿泵
3. 渦旋泵
三、分子泵
四、其他類(lèi)型真空泵
1. 擴(kuò)散泵
2. 液環(huán)泵
五、不同真空泵的對(duì)比總結(jié)
類(lèi)型 | 極限真空度 | 抽氣速率 | 油污染 | 維護(hù)成本 | 適用場(chǎng)景 |
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旋片泵 | 10?2 Pa | 高 | 有 | 低 | 實(shí)驗(yàn)室常規(guī)干燥 |
羅茨泵 | 10?1 Pa |
| 無(wú) | 中 | 工業(yè)級(jí)高溫烘干 |
爪式泵 | 10?3 Pa | 中 | 無(wú) | 中 | 醫(yī)藥、電子潔凈烘干 |
分子泵 | 10?? Pa | 低 | 無(wú) | 高 | 半導(dǎo)體、納米材料超高真空烘干 |
擴(kuò)散泵 | 10?? Pa | 中 | 有 | 高 | 科研級(jí)高真空烘干 |
六、選型建議
低溫烘干(<100℃):優(yōu)先選擇旋片泵或干式泵(如爪式泵)。
高溫烘干(>150℃):推薦羅茨泵+旋片泵組合或螺桿泵。
潔凈度要求高:選用干式泵(如爪式泵、螺桿泵)。
超高真空需求:必須搭配分子泵或擴(kuò)散泵。
提示:實(shí)際選型需根據(jù)工藝需求、預(yù)算及維護(hù)能力綜合評(píng)估,必要時(shí)可聯(lián)系廠(chǎng)家進(jìn)行技術(shù)咨詢(xún)。