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目錄:北京海富達(dá)科技有限公司>>實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備>>濺射儀/萃取儀>> SD-650MH袖珍型高真空磁控濺射儀報(bào)價(jià)

袖珍型高真空磁控濺射儀報(bào)價(jià)
  • 袖珍型高真空磁控濺射儀報(bào)價(jià)
參考價(jià) 140000
訂貨量 ≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
140000
≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) SD-650MH
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
  • 所在地 北京市
屬性

產(chǎn)地:國(guó)產(chǎn)

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更新時(shí)間:2023-12-14 08:27:14瀏覽次數(shù):1108評(píng)價(jià)

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產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn)
袖珍型高真空磁控濺射儀報(bào)價(jià)(可噴鎂,鋁,金銀鉑) 型號(hào):KM1-SD-650MH庫(kù)號(hào):M403191

原理:

濺射鍍膜的原理是稀薄氣體在

異常輝光放電產(chǎn)生的等離子體在電

場(chǎng)的作用下,對(duì)陰極靶材表面進(jìn)行轟

擊,把靶材表面的分子、原子、離子

及電子等濺射出來(lái),被濺射出來(lái)的粒

子帶有一定的動(dòng)能,沿一定的方向射

向基體表面,在基體表面形成鍍層。

袖珍型高真空磁控濺射儀報(bào)價(jià)袖珍型高真空磁控濺射儀報(bào)價(jià)(可噴鎂,鋁,金銀鉑) 型號(hào):KM1-SD-650MH庫(kù)號(hào):M403191   


原理:


濺射鍍膜的原理是稀薄氣體在


異常輝光放電產(chǎn)生的等離子體在電


場(chǎng)的作用下,對(duì)陰極靶材表面進(jìn)行轟


擊,把靶材表面的分子、原子、離子


及電子等濺射出來(lái),被濺射出來(lái)的粒


子帶有一定的動(dòng)能,沿一定的方向射


向基體表面,在基體表面形成鍍層。


濺射時(shí)產(chǎn)生的快電子在正交的電磁


場(chǎng)中作近似擺線運(yùn)動(dòng),增加了電子行


程,提高了氣體的離化率,同時(shí)高能


量粒子與氣體碰撞后失去能量,基體


溫度較低,在不耐溫材料上可以完成


鍍膜。


用途:


KM1-SD-650MH 高真空磁控濺射鍍膜儀是袖珍型磁控濺射


設(shè)備,主要由濺射真空室、磁控濺射靶、樣品臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)、真空測(cè)


量及電控系統(tǒng)等部分組成。高真空濺射可用于金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多種薄膜材料的


制備,且具有設(shè)備簡(jiǎn)單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),可用于大專、科研


院所的薄膜材料研究、制備。


參數(shù):


儀器主機(jī)尺寸: 長(zhǎng) 610mm×寬 420mm×高 220mm(注:含腔體總高 490mm)


工作腔室尺寸: 標(biāo)配:玻璃腔體(高度可選):直徑 260mm×高 200mm(外尺寸)


直徑 240mm×高 200mm(內(nèi)尺寸)


選配:金屬腔體:直徑 260mm×高 270mm(外尺寸 )


直徑 210mm×高 270mm(內(nèi)尺寸)


靶頭: 標(biāo)配:?jiǎn)伟?/span>


選配:雙靶(雙靶儀器主機(jī)尺寸和工作腔體尺寸會(huì)隨之增大)


靶材尺寸: 直徑 50mm×厚 3mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)


靶材料: 標(biāo)配一塊直徑 50mm×3mm 的銅靶(可選配多種靶材)


靶槍冷卻方式: 水冷


真空系統(tǒng): 抗沖擊渦輪分子泵,抽速為 300L/s


前級(jí)機(jī)械泵: 抽速為 4L/s,帶防返油電磁閥及油污過(guò)濾器


真空測(cè)量: 采用復(fù)合真空計(jì)監(jiān)測(cè)真空

真空度: 5×10


-5Pa(10 分鐘可到 9×10


-4Pa)


電源: 標(biāo)配:直流恒流電源:輸入電壓:220V


輸出電壓:0-600v


輸出電流:0-1.6A


選配:射頻功率電源:功率 1000W,配射頻匹配器。


載樣臺(tái): 直徑 200mm,可根據(jù)客戶需求定制載樣臺(tái)。


工作氣體: Ar 等惰性氣體(需自備氣瓶及減壓閥)


氣路: 濺射真空度手動(dòng)調(diào)整(可選配氣體質(zhì)量流量計(jì))


水冷: 自循環(huán)冷卻水機(jī)


電源電壓: 220V 50Hz


啟動(dòng)功率 3KW


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