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ZXHD/VMG0527復(fù)合規(guī)這個(gè)系列自帶 2英寸 240X320液晶點(diǎn)陣顯示模塊，可以在現(xiàn)場(chǎng)讀出真空系統(tǒng)的狀態(tài)。傳感器為壓阻-熱導(dǎo)復(fù)合，綜合了壓阻在 500Pa以上不受氣體種類影響|高|精度，熱導(dǎo)在 500Pa以下寬量程.

真空規(guī)應(yīng)用場(chǎng)合：本真空規(guī)應(yīng)用于工業(yè)應(yīng)用、科研院所、半導(dǎo)體行業(yè)需要測(cè)量粗低真空的場(chǎng)合：一般真空壓力測(cè)量。前級(jí)管道和粗低真空壓力測(cè)量。氣體回填測(cè)量和控制。質(zhì)譜儀控制。啟動(dòng)高真空電離規(guī)。系統(tǒng)過(guò)程控制。檢測(cè)異常壓力，利用繼電器設(shè)提供系統(tǒng)安|全措施 控制系統(tǒng)壓力。PVD、CVD氣相沉積鍍膜硅單晶生長(zhǎng)

技術(shù)指標(biāo):

測(cè)量范圍： 100kPa～0.1Pa

測(cè)量精度：100KP～500Pa: 5%-3-500P～1Pa: 10%<1Pa: 20%

工作電壓： 12-24VDC

功率： <1.5瓦

控制觸點(diǎn)（可選組件）：2組 TTL級(jí)

通訊方式（可選組件）：RS485

模擬輸出（可選組件）：隔離輸出 4～20mA。

真空規(guī)應(yīng)用場(chǎng)合：本真空規(guī)應(yīng)用于工業(yè)應(yīng)用、科研院所、半導(dǎo)體行業(yè)需要測(cè)量粗低真空的場(chǎng)合：一般真空壓力測(cè)量。前級(jí)管道和粗低真空壓力測(cè)量。氣體回填測(cè)量和控制。質(zhì)譜儀控制。啟動(dòng)高真空電離規(guī)。系統(tǒng)過(guò)程控制。檢測(cè)異常壓力，利用繼電器設(shè)提供系統(tǒng)安|全措施 控制系統(tǒng)壓力真空規(guī)應(yīng)用場(chǎng)合：本真空規(guī)應(yīng)用于工業(yè)應(yīng)用、科研院所、半導(dǎo)體行業(yè)需要測(cè)量粗低真空的場(chǎng)合：一般真空壓力測(cè)量。前級(jí)管道和粗低真空壓力測(cè)量。氣體回填測(cè)量和控制。質(zhì)譜儀控制。啟動(dòng)高真空電離規(guī)。系統(tǒng)過(guò)程控制。檢測(cè)異常壓力，利用繼電器設(shè)提供系統(tǒng)安|全措施 控制系統(tǒng)壓力真空規(guī)應(yīng)用場(chǎng)合：本真空規(guī)應(yīng)用于工業(yè)應(yīng)用、科研院所、半導(dǎo)體行業(yè)需要測(cè)量粗低真空的場(chǎng)合：一般真空壓力測(cè)量。前級(jí)管道和粗低真空壓力測(cè)量。氣體回填測(cè)量和控制。質(zhì)譜儀控制。啟動(dòng)高真空電離規(guī)。系統(tǒng)過(guò)程控制。檢測(cè)異常壓力，利用繼電器設(shè)提供系統(tǒng)安|全措施 控制系統(tǒng)壓力