艾里卡特高精度質(zhì)量流量控制器采用層流差壓原理，可本地顯示溫度，絕壓，質(zhì)量流量和體積流量，美國(guó)ALICAT MC系列可本地顯示控制差壓原理氣體質(zhì)量流量控制器耐壓1MPa，低壓差條件下亦可使用。美國(guó)ALICAT MC系列可本地顯示控制差壓原理氣體質(zhì)量流量控制器內(nèi)置130種氣體，大大節(jié)約用戶(hù)成本。反應(yīng)時(shí)間快。

詳細(xì)介紹

一、艾里卡特高精度質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

1、50毫秒內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)

精確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度，艾里卡特?質(zhì)量流量控制器50毫秒內(nèi)即可到達(dá)新的設(shè)定值?？焖佟⒖芍貜?fù)、穩(wěn)定！

2、操作便捷

? 50-100毫秒控制響應(yīng)

? 允許用戶(hù)自行調(diào)節(jié)PID以獲得良好的速度和穩(wěn)定性

? 定制化閥門(mén)孔徑以保證滿(mǎn)量程流量的穩(wěn)定性

? 同一臺(tái)設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力

? 瞬間啟動(dòng)、無(wú)需預(yù)熱：1秒內(nèi)即可開(kāi)始流量控制

二、艾里卡特高精度質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列

MC 標(biāo)準(zhǔn)系列

MCR 大流量系列

精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特?R系列閥門(mén)為*的無(wú)摩擦閥門(mén)，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門(mén)。

MCW / MCRW 低壓損系列

zui大限度減小壓損對(duì)系統(tǒng)的影響，滿(mǎn)量程壓損zui低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特?Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力，是航*航*、環(huán)境氣體分析等應(yīng)用選擇；zui大量程：0-500 slpm。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蝕系列

所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列

MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)系列

可快速、簡(jiǎn)易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門(mén)設(shè)計(jì)更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MCV系列另增加了后置的氣動(dòng)截至閥，專(zhuān)門(mén)用于真空應(yīng)用?？啥ㄖ葡鄳?yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。zui大量程：0-20 slpm. 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)系列

MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

*雙向質(zhì)量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量。可定制低壓損系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列

三、常用選配項(xiàng)

? 后置閥門(mén)，優(yōu)化真空及背壓應(yīng)用的控制

? 批量控制模式，依靠快速的閥門(mén)響應(yīng)來(lái)分配流量，包含在累加器(TOT)功能中

? CSA認(rèn)證1類(lèi)2區(qū) / ATEX認(rèn)證1類(lèi)2區(qū)允許設(shè)備用于危險(xiǎn)環(huán)境

? 9針或15針D-Sub等連接接口可選

? 通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選

? 彩色背光顯示屏適用于光線不足的場(chǎng)合

四、性能參數(shù)

指標(biāo)	質(zhì)量流量控制器
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....1500SLPM，2000SLPM，3000SLPM
精度	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿(mǎn)量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿(mǎn)量程）
重復(fù)性	±0.2%
量程比	200:1
響應(yīng)時(shí)間	100ms
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
溫度范圍	-10～50
零點(diǎn)漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
濕度范圍	0-*
測(cè)量流量范圍	128％（過(guò)流率）
zui大耐壓	145psi
輸出信號(hào)（數(shù)字）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
數(shù)字信號(hào)可選	RS485，Modbus，Profibus
輸出信號(hào)（模擬）	質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度
模擬信號(hào)可選	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
電氣連接	8針/9針/15針（根據(jù)不同類(lèi)型流量計(jì)而定）
供電電壓	7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC）
供電電流	0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A）