一．用途:

PVC無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

二．特點：

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100

2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

3.采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設(shè)計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)

4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*佳溫度控制精度。

三．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：

1.主要技術(shù)指標：

   無塵等級：Class 100;                   溫度范圍： 60～ +300℃；

   溫度均勻度：200℃±4℃;             溫度波動度：±0.5℃（空載）        

   溫控精度：±0.1℃;                        工作尺寸：W800×D600×H1300         

   電源：380v , 50Hz，15KW         網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))

潔凈度100級的潔凈熱處理

HEPA過濾器與前出風型水平層流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。*小限度控制風速距離。

M計裝可編程控制

1模式20步驟，*多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。

簡單操作的標準計裝

標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設(shè)定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。 

型號 溫度范圍內(nèi)容積其它參數(shù)內(nèi)尺寸

（W×H×Dmm）外尺寸

（W×H×Dmm）

OVEN C178(RT+60)～+200℃178L潔凈度：100級580×530×580770×1,280×1,025

OVEN C380(RT+60)～+200℃380L潔凈度：100級580×1130×580770×1,880×1,025

OVEN C678(RT+60)～+200℃678L潔凈度：100級800×1130×7501,030×1,880×1,025

OVEN CH178(RT+60)～+300℃178L潔凈度：100級580×530×580770×1,280×1,025

OVEN CH380(RT+60)～+300℃380L潔凈度：100級580×1,130×580770×1,880×1,025

OVEN CH678(RT+60)～+300℃678L潔凈度：100級800×1,130×7501030×1,880×1,210

OVEN CH347(RT+60)～+300℃347L潔凈度：100級580×1,130×530770×1,880×1,025

OVEN CH633(RT+60～+300℃633L潔凈度：100級800×1,130×7001,030×1,880×1,210

2、箱體結(jié)構(gòu)：

   烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統(tǒng)組裝而成，結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；

   箱體材料：外箱采用SUS304 ，1.5mm之拉絲不銹鋼，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，可防止微塵；

   內(nèi)膽材料：采用上等SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)生 PARTICLE；

   中桶材料：采用上等SUS304，2.0mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。

3、溫控系統(tǒng)：

   采用韓國“三元"SAMWONTECH溫度控制器，控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自動演算、薄膜設(shè)定，**度±0.3%FS。；

   訊號來源：采用PT100熱電阻±0.5%。

   輸出被控制組件：SSR無接點訊號輸出。

4、完善的**保護措施：

漏電斷路器、     控制線路保險絲裝置、 超溫防止保護裝置、 電熱過電流保護裝置、

馬達過電流保護、 機臺異常蜂鳴器警示   逆向防止器、       門面**開關(guān)

5、選購設(shè)備(需另外收費)：

   可程式溫控器        無紙記錄儀        三色指示燈          烘烤架

注:無塵等級和尺寸可根據(jù)要求定制。