μ Phase高精度干涉儀用于測量高精度要求的光學(xué)零件,材料包括玻璃、塑料、金屬、陶瓷等,被國家,以及各大天文、光電研究所應(yīng)用于精密光學(xué)檢測,測量精度及穩(wěn)定性已得到研究機(jī)構(gòu)的廣泛肯定。
應(yīng)用范圍:
可用于測量平面和球面光學(xué)零件
可完成各種類型的反射和透射檢測
可采用透射法檢測雙膠合透鏡
曲率半徑測量
非球面、柱面、輪胎面等面型的測量
大型平面的檢測
光學(xué)材料的均勻性檢測
理想的成盤拋光分塊鏡面型檢測
典型應(yīng)用
μPhase® SPHERO UP, μPhase® PLANO UP,μPhase® Plano Down
l 用于測量不同的平面和球面光學(xué)零件
l 操作直觀而簡單,適合非專業(yè)人士操作
l 測量范圍:
μPhase® Plano Down:平面φ≤2 mm 至 150 mm
μPhase® PLANO UP:平面φ≤2 mm 至 100 mm
μPhase® SPHERO UP:球面,曲率半徑(凸面)2mm—225mm,直徑55mm
球面,曲率半徑(凹面)-3mm—-570mm
l 結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間下,可靈活的與產(chǎn)線結(jié)合
μPhase® Vertical
l 適用于廠房、車間、實(shí)驗(yàn)室的標(biāo)準(zhǔn)干涉儀檢測系統(tǒng)
l 立式檢測,結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小
l 標(biāo)配一個(gè)沿Z軸方向電動平移的平臺,可選配第二個(gè)平臺
l 傾斜及X/Y平移精調(diào)
l 可完成各種類型的反射與透射檢測
l 可采用透射法檢測雙膠合透鏡
l 凹面與凸面球面鏡的檢測范圍:標(biāo)準(zhǔn)曲率半徑范圍:1mm-225mm,直徑55mm(采用50mm物鏡μLens PLANO 50)
l 集成半徑測量單元
l 可選CGH,用于測量非球面、柱面、輪胎面等
l Z軸方向設(shè)置導(dǎo)軌電機(jī),電動升降
l 曲率半徑實(shí)現(xiàn)一鍵式自動測量
μPhase® UNIVERSAL 100
l 用于測量平面和球面的4英寸干涉檢測系統(tǒng)
l 球面測量范圍:凹面曲率半徑-3000mm(提供相應(yīng)導(dǎo)軌)
l 平面測量范圍:98mm
l 半徑測量系統(tǒng)集成導(dǎo)軌和光柵尺
l 適合長焦光學(xué)零件和系統(tǒng)的檢測
l 與市場上通用的4英寸標(biāo)準(zhǔn)球面物鏡相兼容
l 可選旋轉(zhuǎn)對稱非球面的檢測配件,檢測范圍10mm-80mm,CGH檢測輪胎面、柱面等
μPhase® Plano 300
l 理想的大型平面的檢測系統(tǒng),光學(xué)材料的均勻性檢測系統(tǒng)
l 理想的成盤拋光分塊鏡面形檢測系統(tǒng)
l 測量范圍60-300mm
l 立式檢測系統(tǒng),其它檢測方式根據(jù)要求可訂制
l 具有重型光學(xué)元件的支承、調(diào)整等操作功能。
技術(shù)規(guī)格:
測量原理 | 泰曼格林型相移式干涉儀,可轉(zhuǎn)成菲索型 |
測量能力 | 光學(xué)反射面的面形、光學(xué)零件或系統(tǒng)的透過波前 |
激光波長 | 標(biāo)配632.8nm,335nm-1064nm間波長可選 |
PV重復(fù)精度 | λ/400(λ=632.8nm) |
RMS重復(fù)精度 | λ/6500(λ=632.8nm) |
測量不確定度 | λ/20(λ=632.8nm) |
相機(jī)分辨率 | μPhase® 500:500×500像素 μPhase® 1000:1000×1000像素 |
數(shù)字化位 | 8位 |
激光器類型 | 穩(wěn)頻氦氖激光器 |
激光器防護(hù)等級 | 3A |