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微型蠕動(dòng)泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

閱讀：41發(fā)布時(shí)間：2022-3-26

　　蠕動(dòng)泵的應(yīng)用其實(shí)不僅僅在流體相關(guān)的行業(yè)，在其他行業(yè)的應(yīng)用也是非常廣泛的。而且蠕動(dòng)泵分為很多類型，比如微型蠕動(dòng)泵，在半導(dǎo)體行業(yè)也有很廣泛的應(yīng)用。下面普瑞微型蠕動(dòng)泵廠家為您解析微型蠕動(dòng)泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。

　　半導(dǎo)體制造要求始終控制工藝工具中的液體流動(dòng)，苛刻的應(yīng)用之一是化學(xué)機(jī)械平坦化（CMP）。當(dāng)CMP工具不能將一致的漿料速率分配到拋光基材上時(shí)，它會(huì)對(duì)產(chǎn)量，化學(xué)品使用和材料完整性產(chǎn)生極大的負(fù)面影響。晶圓厚度的變化，缺陷密度的增加，工具停機(jī)時(shí)間和晶圓廢料的增加只是流程控制不良可能導(dǎo)致的一些問題。

微型蠕動(dòng)泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

　　微型蠕動(dòng)泵非常適合半導(dǎo)體行業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境，對(duì)于CMP，提供了在拋光過程中的使用點(diǎn)漿料流分配到晶片所需的線性和可重復(fù)性，低剪切力對(duì)CMP漿料溫和，其變速操作允許在很寬的操作范圍內(nèi)控制流量，以保持過程的完整性。
　　漿料的性能可實(shí)現(xiàn)的晶圓平面度，微型蠕動(dòng)泵通過控制漿料輸送和分配，有助于實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)。小流量蠕動(dòng)泵的非侵入式設(shè)計(jì)提供了直的流動(dòng)路徑，沒有死流區(qū)域，使?jié){料凝聚，硬化并污染過程。流速達(dá)到±0.5％。提供的穩(wěn)定的流體輸送不僅可確保漿料不斷流向拋光墊，還可減少漿料、化學(xué)品和去離子水的浪費(fèi)。
　　常州普瑞流體技術(shù)有限公司已經(jīng)擁有了完整的蠕動(dòng)泵生產(chǎn)體系，具備多年的技術(shù)積累，了解各行業(yè)的具體需求，能夠?yàn)橛脩籼峁┤盗腥鋭?dòng)泵產(chǎn)品與配套的方案，可以為客戶快速實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)開發(fā)與集成提供技術(shù)支持與方案建議，節(jié)省客戶的開發(fā)與應(yīng)用周期，節(jié)約成本。

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