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氦離子化檢測(cè)器的應(yīng)用和基本原理

閱讀：159發(fā)布時(shí)間：2022-10-9

HID是現(xiàn)代氣相色譜儀中靈敏度zui高的檢測(cè)器之一，它幾乎沒(méi)有選擇性，從*氣體到復(fù)雜的有機(jī)分子，它對(duì)該范圍內(nèi)幾乎所有易揮發(fā)的物質(zhì)都能產(chǎn)生響應(yīng)。有關(guān)氦離子化檢測(cè)器（HID）的應(yīng)用，國(guó)外早有報(bào)道。雖然國(guó)內(nèi)對(duì)HID的開發(fā)應(yīng)用很少，但隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)的飛速發(fā)展，氦離子化氣相色譜儀將具有廣泛的應(yīng)用前景。國(guó)內(nèi)的眾多研究學(xué)者越來(lái)越多地利用HID來(lái)分析各種高純氣體。

盡管 HID的理論基礎(chǔ)、設(shè)計(jì)、操作條件以及它們對(duì)響應(yīng)的影響都有待作進(jìn)一步的驗(yàn)證，但 HID作為分析應(yīng)用已經(jīng)很成熟了。

HID 是屬于非破壞性檢測(cè)器，對(duì)無(wú)機(jī)和有機(jī)化合物均有高靈敏度的正響應(yīng)。氦離子檢測(cè)器的工作原理如下：

HID是利用氦氣中穩(wěn)定的、低能耗的脈沖直流放電作為電離源，使被測(cè)組分電離產(chǎn)生信號(hào)。電離過(guò)程主要由三部分組成：

（1）氦中放電發(fā)射出13.5~17.7 eV的連續(xù)輻射光進(jìn)行光電離，這是zui主要的部分；

（2）被高壓脈沖加速的電子直接電離組分AB，產(chǎn)生信號(hào)，或直接電離載氣和雜質(zhì)產(chǎn)生基流；

（3） 亞穩(wěn)態(tài)氦與組分反應(yīng)電離產(chǎn)生信號(hào)，或與雜質(zhì)反應(yīng)電離產(chǎn)生基流。
 

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