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硅晶圓片在顯影后的250度高溫烘烤箱，百級潔凈烤箱

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產(chǎn)品型號COL-2

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廠商性質(zhì)其他

所在地上海市

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更新時間：2022-08-03 14:00:09瀏覽次數(shù)：555次

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上海旦順實業(yè)有限公司

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商鋪產(chǎn)品：215條

所在地區(qū)：上海

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產(chǎn)品簡介

硅晶圓片在顯影后的250度高溫烘烤箱，百級潔凈烤箱

詳細(xì)介紹

本公司COL－系列無塵烘箱系用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤，強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*溫度控制精度。

技術(shù)參數(shù)：

1. 百級無塵烤箱型號:COL-2

2. 無塵烘箱工作尺寸（mm）:W600×H600×D500

3. 溫度范圍：RT＋60℃～300℃

4. 無塵烤箱潔凈度：100級；

5. 溫度均勻性: ±1.5%

6. 波動度：±0.5℃

7. 電源：380V 50Hz 7.5KW；

8. 箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵（PARTICLE）,內(nèi)室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼,保溫材料：超細(xì)玻璃棉；

9. 空氣循環(huán)裝置：大容量軸流電機；

10. 加熱方式：不銹鋼電加熱器；

11. 溫度測量傳感器：Pt100 鉑電阻；