詳細摘要: 無塵室以每立方米空氣中直徑大于等于0.5um的灰塵粒的數(shù)量為衡量其潔凈度的標準
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詳細摘要: 半導體/芯片無塵車間標準/STANDARD根據(jù)半導體的應用及工藝,半導體芯片無塵車間一般分為:10級/100級/1000級/10000級/100000級(十級
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