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更新時間：2018-05-15 15:05:58瀏覽次數(shù)：1755次

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美國瓦里安

詳細(xì)介紹

美國VARIAN公司VS氦質(zhì)譜檢漏儀[詳細(xì)內(nèi)容]
美國VARIAN公司VS氦質(zhì)譜檢漏儀

VS系列氦質(zhì)譜檢漏儀

特性及優(yōu)點

·多種語言和計量單位選擇，可選中文界面

·135o 電離偏轉(zhuǎn) （自然聚焦點）的全新質(zhì)譜技術(shù)，金屬密封結(jié)構(gòu)

·新的電子線路及信號處理設(shè)計

·zui小可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達(dá)12個量程

·快速清氦和快速響應(yīng)

·測試口耐壓高，可實現(xiàn)大漏檢漏

技術(shù)規(guī)格

性能指標(biāo)

PR02

MR15&MD30

性能

前級泵內(nèi)置式

前級泵外置式及小車

前級泵油式機(jī)械泵

DS-42 2 m3/hr （34 l/m）

DS-302 14 m3/hr （232 l/m）

渦卷式干泵

N/A

TS-620 30 m3/hr （500 l/m）

zui小可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下

5×10-12 atm cc/sec；

5×10-12 mbar l/s；5×10-13 Pa m3/sec helium

測試口zui高耐壓

16 mbar，12 Torr，1600 Pa

測試口處對氦氣抽速

1.8 l/s

校準(zhǔn)程序

自動或手動（內(nèi)置或外置）

氦本底清零

按鍵清零，并具有零點追蹤功能

操作界面

高清晰彩顯，TFT觸摸屏

語言選擇

中文/英語/法語/德語/日語/韓語/西班牙語

循環(huán)檢測

可編程粗抽時間/測試時間，設(shè)置報廢點

響應(yīng)時間

＜1.0秒

設(shè)定點

標(biāo)準(zhǔn)；5個設(shè)定點；常開或常閉；3個漏率點；1個壓強(qiáng)點；1個聲訊點

通訊協(xié)議

RS-232 通訊借口，9600波特率（9芯竄口）

執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

UL，CE，CSA

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