無塵室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產(chǎn)生的塵埃之

移動、擴散受到氣流的支配。

無塵室系利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過此過濾

器過濾的空氣可說十分干凈。然而無塵室內(nèi)除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵

埃一旦擴散，即無法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。

無塵室內(nèi)的氣流是左右無塵室性能的重要因素，一般無塵室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，

此氣流速度屬微風區(qū)域，易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂

之影響而保持潔凈度、但因風速的提高，將影響運轉(zhuǎn)成本的增加，所以應在滿足要求的潔凈度

水準之時，能以zui適當?shù)娘L速供應，以達到適當?shù)娘L速供應以達到經(jīng)濟性效果。

另一方面欲達到無塵室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法

保持，表示風速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，此時要實現(xiàn)高潔凈度事

實上很困難。

垂直層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出面的風速不可有速度上的差異；（b）地板回

風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現(xiàn)象

發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，（21世紀80、90年代）一般無塵室，其風速均取在

0.25~0.5m/s之間。

影響無塵室的氣流因素很多，如制程設備、人員、無塵室組裝材、照明器具等，同時對于生產(chǎn)

設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。

一般操作臺或生產(chǎn)設備等表面的氣流分流點，應設于無塵室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可

使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區(qū)

前方，將成為不當?shù)臍饬鞣至?，此時大部分的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵

埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。

無塵室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較

差，在工作桌面鉆上回風孔，將使渦流現(xiàn)象減少zui低；組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是

否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。