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中科院“軟X射線干涉光刻分支線站的建設”通過驗收

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中科院“軟X射線干涉光刻分支線站的建設”通過驗收
         2012年12月27日,*重大科技基礎設施維修改造項目“軟X射線干涉光刻分支線站的建設”驗收會在中科院上海應用物理研究所張江園區(qū)召開。會議由計劃財務局潘鋒副局長主持,來自復旦大學、中科院物理所、中科院化學所、蘇州大學、中國科技大學、中科院辦公廳、中科院檔案館、中科院計劃財務局、近代物理所、高能物理所等單位的11位專家組成審核專家組,復旦大學張新夷教授任組長。*計劃財務局、基礎科學局、大裝置辦公室的相關領導出席了本次會議。
  專家組聽取了項目負責人邰仁忠研究員所作的驗收總結(jié)報告,由中科院物理所麥振洪研究員代表測試專家組宣讀工藝測試結(jié)果及測試專家意見,隨后進行了現(xiàn)場考察,查看了工藝、檔案、財務和設備資料。經(jīng)過討論和答疑,驗收專家一致認為,項目各項工藝指標均達到任務書中的驗收指標,部分優(yōu)于驗收指標;經(jīng)過近一年的試運行,系統(tǒng)穩(wěn)定、可靠;項目完成了儀器設備建設任務,做到了賬物相符;項目經(jīng)費使用基本合理;項目文件材料收集齊全,簽字手續(xù)完備,案卷質(zhì)量符合規(guī)范,反映了項目建設的全過程。驗收專家組一致同意通過驗收。
  “軟X射線干涉光刻(XIL)分支線站建設項目”是上海光源承擔的*大科學裝置維修改造項目。項目的主要任務是在上海光源軟X射線譜學顯微光束線站(BL08U-1A)的基礎上,建設XIL分支光束線和實驗站,充分拓展主線站(BL08U-1A)的用途,建立大面積、高分辨的微、納加工技術。XIL與主線站結(jié)合,可以使納米結(jié)構(gòu)的制備、組裝和結(jié)構(gòu)表征、觀察在同一條光束線站上完成,為用戶提供一個研究納米材料和器件的一體化平臺。項目于2009年4月正式啟動,至2011年底所有設備安裝在線調(diào)試完畢,2012年1月對用戶開放試運行,2012年11月29日通過了院基礎局組織的工藝測試。



 

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