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初級(jí)會(huì)員 | 第2年

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太陽誘電展出檢測(cè)靈敏度為1ppb的氣體傳感器

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太陽誘電展出檢測(cè)靈敏度為1ppb的氣體傳感器 
         太陽誘電開發(fā)出檢測(cè)靈敏度為1ppb的氣體傳感器,并在2007年10月2日開幕的“CEATEC JAPAN 2007”上展示。氣體傳感器在硅晶圓上形成介電膜,因其吸附氣體的特點(diǎn)太陽誘電將其稱為“納米級(jí)氣體傳感器”。介電膜本身尺寸極小,為80μm×500μm,便于實(shí)現(xiàn)傳感器整體的小型化。

  關(guān)于用途,太陽誘電首先考慮用于半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)氧氣殘留測(cè)定等生產(chǎn)線用途。目前,進(jìn)行ppb級(jí)的檢測(cè)于工廠設(shè)備安裝時(shí)使用分析設(shè)備來檢測(cè)殘留氣體的濃度。該公司認(rèn)為,今后隨著半導(dǎo)體工藝的微細(xì)化,必須提高在線氣體檢測(cè)精度,1ppb~數(shù)ppb的高檢測(cè)靈敏度傳感器的需求將增大。

  此次開發(fā)出的傳感器利用介電膜吸附氣體后,介電膜的電阻值出現(xiàn)變化,以此來檢測(cè)氣體。具體的檢測(cè)方法如下。在介電膜吸附欲檢測(cè)的氣體后,檢測(cè)介電膜的電阻值。然后,加熱介電膜使強(qiáng)介電體變化為正常介電體,放出氣體。之后再次使介電體吸附氣體,并測(cè)量電阻值恢復(fù)到之前的檢測(cè)值所需時(shí)間。由于氣體再次被介電體吸附的時(shí)間與氣體濃度成反比,所以可以測(cè)定氣體濃度。通過檢測(cè)氣體放出時(shí)的電阻值的時(shí)間變化,能夠?qū)崿F(xiàn)高檢測(cè)精度。過去的半導(dǎo)體氣體傳感器也是利用氣體吸附來檢測(cè)電阻值的變化,不過控制氣體的放出較難,檢測(cè)電阻值的時(shí)間變化也很難。

  此次展示的傳感器的開發(fā)為日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省的2007年地區(qū)新建產(chǎn)業(yè)制造技術(shù)開發(fā)費(fèi)用補(bǔ)助項(xiàng)目。目標(biāo)是09年供應(yīng)樣品。如果實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的話,估計(jì)包括檢測(cè)電路在內(nèi)的單價(jià)將控制在數(shù)萬日元以內(nèi)。
 



 

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